粗，等离子清洗机中标公布形成许多改变样品表面的细小凹坑，增加了样品的比表面积。提高固体表面的润湿性。向电子添加能量的一种简单方法是使用平行电极板施加直流电压。电极中的电子被带正电的电极吸引和加速。在加速过程中，电子可以储存能量。电子能 在某些时候，它具有解离中性气体原子的能力，并且有许多方法可以产生高密度等离子体。等离子体在低温下可以产生非平衡电子、反应离子和自由基。等离子体中的高能反应基团与表面碰撞，引起溅射、热蒸发或光解。
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