等离子体刻蚀机 价格（AgiLentTechnologies等离子体质谱仪600）

在射频低温等离子体发生器硝化过程中，AgiLentTechnologies等离子体质谱仪600低温等离子体发生器的产生和基面偏压是分别控制的，因此可以分别控制基面离子的能量转换和通量。由于工作压力低，用气量也相应低。在氮化过程中，低能量转换的直流辉光放电可以产生NH自由基。这些高活性自由基可用于氮化。整个过程需要一个外部电源来加热工件，这与气体氮化工艺类似。

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根据C2的选择性，AgiLentTechnologies等离子体质谱仪600催化剂活性的顺序为La2O3/ Y-al2o3 >CeO2/Y-Al203Pr2O1Sm203/Y-Al2O3>Nd203 /Y-Al2O3;与镧系催化剂对C2烃产率的影响相比，C2烃选择性的顺序基本相同。虽然La2O3/ Y-al2o3催化剂与等离子体相互作用下甲烷转化率较低，但由于C2的选择性大于70%，因此C2的产率高于其他稀土催化剂。

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