等离子清洗机清洗效果好坏与其清洗工艺参数息息相关,等离子清洗机清洗工艺参数的设定将直接作用在整个清洗工艺流程中,而其大小、长短等在清洗过程中所体现的作用是不同的,主要的工艺参数及其简单含义如下:
工艺气体种类:不同的工艺气体种类所激发的等离子的性能是不同的,需要根据被清洗材料选择不同的工艺气体。
工艺气体流量:流量的大小直接导致了形成离子体量的多少,形成了离子体越多,作用于工件表面的反应越强烈,进而清洗效果也越好,但需与射频功率协调作用。
射频功率:决定了气体形成离子态的能量大小,功率越大能够激发越多气体形成离子态,清洗效果越明显,但其余参数不变的前提下,功率越大,仓体内温度越高,且当气体流量达到饱和后,一定射频功率能激发的离子体也会达到饱和,需根据实际条件配合气体流量及工艺要求选择。
清洗时间:其余参数不变的前提下,清洗时间越长,清洗效果越好,但伴随着温度升高,对某些不耐高温及易损工件会造成损坏,因此不适宜长时间清洗,一般来说,希望在最短的时间内达到清洗的最佳效果,但这和很多因素相关,并且有时参数之间相互制约,这需要在所有参数中摸索最优的参数。功率越大,清洗时间越短,但会导致清洗室和零件温度升高。对于许多处理工艺来说,较高的温度会导致清洗不均匀或零件发生刻蚀,因此如何选择功率、压力和气体种类以达到最佳配比是需要大量实验摸索的。
真空压力值:仓体内的真空度影响工艺气体的电离程度,真空度越高,电子运动的平均自由程越大,能量也就越大,有利于电离,但是在氧气流量和功率一定情况下,要提高真空度,必须更换大抽速的泵,大功率泵会造成气体离子密度降低,从而使清洗效果变差。
在等离子清洗时,影响清洗工艺的参数中,真空压力值由仓体本身焊接密封性等决定,选择合适的真空泵达到的真空压力值一般已成为定值,工艺气体选择、工艺气体流量大小、射频功率、清洗时间等都可以根据工艺参数在等离子清洗机屏幕上很简便地调节数值,达到合理的匹配,获得较好的清洗效果。等离子清洗机参数设置并不是唯一的,需要慢慢摸索,如果你没有这方面的经验,可以直接询问生产厂家,厂家一般都有各种经验参数可以提供。24373