超声波清洗主要根据空化效应达到清洗目的，压铸铝喷涂附着力属于湿法处理，清洗时间长，且依赖清洗液的去污性能，增加了废液处理问题。等离子体清洗技术是现阶段广泛应用的技术。等离子体清洗技术简单环保，清洗效果明显，对盲孔结构非常有效。等离子体清洗机设备清洗是高度活化的等离子体在电场作用下定向运动，与孔壁钻孔污物发生气固化学反应。同时，产生的气体产物和一些未反应的颗粒由吸入泵排出。等离子体在清洗HDI板盲孔时一般分为三步。
大家都知道，压铸铝喷涂附着力不好太阳能光伏产业链对清洁生产工艺非常严格。即使太阳能极的硅片不需要电子级，69的纯度也很高。等离子清洗机工艺诞生后，等离子体清洗工艺已成为硅片上或多或少污染物清洗过程中常用的方法之一。等离子清洗机是一个结合等离子体物理、等离子体化学和气固相界面的化学反应的新兴领域。
二、等离子体发生器激励频率分类（1）超声等离子体：激发频率40kHz，压铸铝喷涂附着力不好在处理表面引起物理反应；②射频等离子体：激发频率13.56MHz，在处理表面引起物理反应和化学反应；③微波等离子体：激发频率2.45GHz，用于表面处理，产生化学反应。。
2. 接下来，压铸铝喷涂附着力将等离子清洗气体引入真空室以稳定室内压力。根据清洗剂的不同，可以使用氧气、氩气、氢气、氮气和四氟化碳等气体。 3、在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体分解并辉光放电，产生等离子体并电离。产生等离子，覆盖在真空室内产生的等离子处理的工件，开始清洗。清洁过程通常需要几十秒到几十分钟，具体取决于正在处理的材料。 4、清洗后，关闭电源，用真空泵排出气体和汽化的污垢，完成清洗。
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研究发现，当等离子体刻蚀温度低于-℃时，该材料刻蚀过程中产生的低K损伤会急剧减小，其介电常数不会明显增加，从而材料特性不会发生明显变化。同时比较了不同偏压下刻蚀工艺对介质材料的损伤。利用等离子体表面处理器进行低偏压或零偏压超低温刻蚀，可以明显降低低介电常数材料的PID，同时材料的介电性能与刻蚀前相比无明显变化。
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