等离子体在磁场中在太空中运动，环氧富锌附着力差轰击被处理物体的表面，从而清除表面的油污和氧化物。灰化的外表有（机）和其他化学物质达到表面处理、清洗和刻蚀效果的真空等离子体（效应）。借助真空等离子体处理工艺，可实现可选的外观改性。真空等离子体和固体、液体或气体一样，都是物质的状态，也称为物质的第四态。
在使用中可以选择40KHz、13.56mhz、2.45ghz三种射频发生器，环氧富锌附着力差以适应不同的清洗效率和清洗效果需求。通过等离子体清洗机在这些行业中的应用,我们可以发现它有以下特点:1,操作灵活,可以简单地改变气体治疗和治疗程序的类型;2、在使用过程中不会造成任何伤害操作者的身体;3、等离子体处理,等离子清洗机的成本很低，具有很高的性价比。
从全球市场份额来看，环氧富锌附着力差单晶圆清洗设备从2008年开始就已经超过自动化清洗设备，成为领先的清洗设备，而今年正是行业引入45nm节点的时候。据 ITRS 称，2007-2008 年是 45nm 工艺节点量产的开始。松下、英特尔、IBM、三星等此时开始量产45nm。 2008年底，中芯国际获得IBM批准量产45nm（米）工艺，成为中国第一家转向45nm的半导体公司。
(2)工作气体的类型也影响等离子体的清洁类型例如:Ar2、N2等行成的等离子体常见应用物理清洗，环氧富锌附着力差产品表面经过轰击清洗；反应性气体O2、H2等行成的等离子体常见应用化学清洗，活性自由基与污染物(大多数是碳氢化合物)发生化学反应，行成一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，从产品表面去除。
环氧富锌附着力差的原因
氧主要用于高分子材料的表面活化和有机污染物的去除，而不是用于易氧化金属的表面。氧等离子体在真空等离子体中呈浅蓝色，局部放电时呈白色。放电环境光比较明亮，肉眼在真空室观察可能看不到放电。氩气是惰性气体的一种，电离器电离后不会与基材发生化学反应，在等离子体清洗中主要用于基材的物理清洗和表面粗化，Z大的特点是在表面清洗中不会构成精密电子器件的表面氧化。
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