分别在脉冲电晕等离子体和无声放电等离子体条件下实现了 CO2 重整的 CH4 反应。直接法是将CH4和CO2一步制备C2烃，微波等离子体应用在微波、流柱放电和高频等离子体的作用下实现反应。 Liu采用流柱排放法，以He为平衡气体（总气体流量的60%-80%），在特定排放功率下，根据CO2和CH4的不同摩尔比，甲烷转化率为20 %.~80%，二氧化碳转化率在8%~49%之间，C2烃收率在20%~45%之间。
然后和工作气体一起去除。实践证明，微波等离子体应用该方法能有效去除硫酸阳极氧化膜表面的胶水转移等污染。目前，等离子体处理已广泛应用于半导体和光电行业，并逐渐广泛应用于光学、机械、汽车、航天、聚合物和污染防治行业。近年来，等离子体处理技术已广泛应用于电子元器件制造、发光二极管包装、集成电路包装、多层陶瓷外壳处理、ABS塑料处理、微波管制造、汽车点火线圈框架处理和发动机油封片粘接处理。
3、航空航天---绝缘、电子元件等表面涂层的预处理4、电子设备---线路板的清洗和蚀刻。薄膜、PP和其他材料的非氧化和活化处理，微波等离子体应用以提高可焊性5、金属——去除金属表面的油脂、油污、其他有机物和氧化层6、光电子领域---等离子刻蚀、等离子气相沉积、原子层气相沉积广泛应用于VCSEL、激光二极管、微透镜、波导、单片微波集成电路（MMIC）等光电子器件的制造。
第二个影响的因素是电源1目前对于真空等离子清洗机常用的电源按频率来分有--1中频40KHZ 2射频13.56MHZ 3微波2.45GHZ（对于商业应用工厂生产来说就中频和射频2种，微波等离子化学气相沉积系统因为微波式的等离子目前真空腔体的体积做不大，技术还不够成熟一般只能做到几升的容积，用于试验室内）2中频电源在真空等离子清洗上被选用的基本上是真空腔体体积较大（一般大于200L，电极板数量较多，因为相对于射频中频在大功率电源比如5000W、10KW、20KW本身性能更稳定、对于产生的等离子体中分子、离子获得的动能更大、渗透性更好、偏重利用物理反应3射频电源在真空等离子清洗机上被选用的基本上是真空腔体体积较小的设备，相对于中频来说因为它频率高、虽然分子、离子获得的动能没有中频的高但是就处理效率来讲还是明显优于中频而且其物理反应和化学反应都表现很好电源分国产电源和进口电源，国产电源，和进口电源的价格相差很大，这也是影响价格的一个重要要素3真空泵真空泵对真空等离子清洗机的真空度、抽真空时间以及整台设备的处理效果都有重要影响，所以选择合适的真空泵是对一台真空等离子清洗机的品质至关重要。
微波等离子体应用
采用等离子体处理消声瓦橡胶表面，其目的主要是在消声瓦表面形成极性基团，从而提高橡胶的表面能，减小接触角，改善消声瓦橡胶的表面湿润性，另外等离子体处理温度低，不影响基体，仅对表面进行处理。消声瓦橡胶的处理效果与等离子体工作参数的下列因素有关：微波输入功率、气压处理时间气氛和流量等。经过不断的实验，可以获得处理消声瓦橡胶表面的最佳工艺条件。接触角是表面湿润程度的一种度量。
5、多层柔性板渣、软质板渣、fr-4高厚比微孔去除（desmar）：改善孔与铜涂层之间的粘结，彻底去除渣，提高结合的可靠性，防止内部镀铜开路。6、铜沉积前用Ptfe高频微波板孔壁表面进行改性和活化。防焊和字符前板活化：有效防止焊接字符脱落。7、利用hdi板的通孔和盲/埋孔，从中去除碳化物。清洗不受孔径控制，小于50微米的微孔效果更明显。8、去除细线干膜残留物（去除夹膜）。
多头等离子处理器的等离子表面改性技术是利用物理手段对纤维表面进行处理，实现化学处理效果的高科技技术。等离子表面改性采用干墙处理，节能节水，清洁高效，操作方便，易于控制，减少环境污染。由于这样处理的织物只含有纤维的表面，不破坏纤维本身的性能，因此可以对纤维的表面性能进行改性，以达到理想的应用效果。这不仅保留了织物原有的优点，而且提供了新的性能并消除了一些缺点。
应用等离子技术对橡塑表面处理，其操作简单，处理前后没有有害物质产生，处理效果好，效率高，运行成本低。 等离子技术在橡胶、塑料行业的应用等离子表面处理技术的应用领域包括橡胶、复合材料、玻璃、布料、金属等，涉及各行各业，这篇文章中我们主要介绍其在橡胶、塑料领域一些行业的具体应用。
微波等离子化学气相沉积系统
由于气体粒子温度较低（具有低温特性），微波等离子体应用因此把这种等离子体称为低温等离子体。当气体处于高压状态并从外界获得大量能量时，粒子之间的相互碰撞频率大大增加，各种微粒的温度基本相同，即Te基本与Ti及Tn相同，我们把这种条件下得到的等离子体称为高温等离子体，太阳就是自己界中的高温等离子体。由于高温等离子体对物体表面的作用过于强强烈，因此在实际应用中很少使用，目前投入使用的只有低温等离子体。
但由于全谷物的种皮和胚芽，微波等离子体应用存在加工难、成熟难、保质期短等问题。全谷物的外表皮还可以附着或积聚真菌、霉菌毒素和农药残留。没关系吃。等离子体是一种准中性电离气体，可以通过系统中大量带电和活性粒子的作用来处理样品。这是近年来发展迅速并广泛应用于微电子领域的一种新型加工技术。材料加工、生物医学装备、航空航天等领域。
