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1、真空室及真空系统真空室固定在柜体框架上，安徽实验室等离子清洗机厂家电话柜体框架尺寸为1722X1060X1840，左右是可拆卸门，后面是两个相对的门，所以内部维护真空室和真空系统很方便。真空室尺寸为600X600X600，可同时加工9层550X550尺寸的工件。真空室和真空阀固定在框架上。外置低真空泵和罗茨真空泵，连接真空泵的电磁补油阀，变频器控制真空泵转速，闭环控制保持真空室动态平衡，真空室内真空度在正常工作范围。
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等离子表面清洗技术在IC封装领域内的应用将越来越广泛，并以其优良的性能变成21世纪IC封装领域内关键生产装置，变成大规模生产环节中提高产品成品率及可靠性的重要工序措施，未来必然不可或缺。。plasma是一种包含原子、分子、离子亚稳态和激发态的全部或部分离子气态物质，而且电子、正离子与负离子含量大致相同。具有较高的物质能量，容易与其它物质发生物理、化学、生理反应。
这显着改变了材料的表面形态并引入了各种含氧基团，将表面从非常难以粘附的表面改变为特定极性。易于涂抹和亲水。适用于胶合、涂层和印刷。材料的等离子表面处理技术具有以下效果： 1.活性：大大提高润湿性，形成活性表面； 2.清洁：去除污垢和油污，精细清洁去除静电； 3.涂层：表面涂层工艺提供功能性表面，提高表面附着能力，提高表面附着可靠性和耐久性。
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