1.真空室真空等离子清洗机的真空室就像是整个反应过程的“容器”。可以放置具有不同电极结构的放电电极以产生不同状态、特性和密度的等离子体。 2.等离子发生器等离子发生器主要由电源和匹配器组成，广东真空等离子处理机速率为反应气体放电提供能源，用于维持等离子清洗机的放电状态和发生频率。差异化。 3.真空泵真空泵主要用于抽真空，使腔体保持一定的真空度，抽出非电离气体和反应副产物。可根据实际加工需要与单级泵或泵组组合使用。四。
由于等离子清洗工艺不使用化学溶剂，广东真空等离子处理机速率所以基本干净，对环保有用。此外，制造成本低，均一性、再现性、可控性好，易于量产。 3 等离子清洗的类型比较基本的等离子清洗设备由四个主要部分组成：激发电源、真空泵、真空室和反应气源。激发电源是提供气体发射能源的电源，可选择各种频率。真空泵的主要作用是去除副产品，如旋片机械泵和增压泵。真空室中的放电电离反应，气体变成等离子体。
通过与电离气体和压缩空气的化学反应加速的活性气体射流去除污染颗粒，广东真空等离子处理机速率将它们转化为气相，并通过真空泵以连续气流排出。如此获得的纯度等级较高。当发生氧化铜还原反应时，氧化铜与氢气的混合气体等离子体接触，氧化物发生化学还原反应产生水蒸气。混合气体中含有Ar/H2或N2/H2，H2含量明显小于5%。大气压等离子体在运行期间具有非常高的气体消耗。
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因此，主刻蚀步骤通常使用C/F比比较高、更容易产生C4F8、C4F6、CH2F2等聚合物的刻蚀气体。通过对主刻蚀步骤工艺参数的研究，结果表明CxFy/O2比值越高，二次条纹越小。这与产生大量聚合物的 CxFy 增加同时，O2 显着减慢了反应产生的聚合物的解离和去除速率。 Photo Photo 聚合物在照片表面的积累不断增加，为介电材料提供了全面的保护，使其免受大气等离子清洁剂等离子或化学品的影响。
反应器结构、源和偏置功率、气体压力和频率、气体流量和成分、室壁材料和温度、脉冲模式（仅源、仅偏置、同步脉冲）、脉冲频率（脉冲重复频率）等）， PRF），脉冲占空比（脉冲 D）使用周期和相位差会影响反应器中的等离子体特性，例如等离子体密度、反应基团活性、电子温度、离子通量和能量、中性粒子与离子通量的比率以及离解速率。
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1.等离子表面处理设备会产生辉光现象，广东真空等离子处理机速率通常称为电弧放电。由于真空紫外光，它对蚀刻速率有非常积极的影响； 2.气体中含有中性粒子、离子和电子。中性粒子和离子的温度为102～103K，与电子能量对应的温度高达105K，故名非平衡等离子体或冷等离子体。但是，它们表现出电中性和准中性； 3.等离子表面处理设备产生的自由基和离子非常活跃，它们的能量足以破坏几乎所有的化学键，并在暴露的表面层引发化学反应。
(一)放电气压:对于低压等离子体,放电气压增加,等离子体密度越高,电子温度随之降低。而等离子体的清洗效果取决于其密度和电子温度两个方面,如密度越高清洗速率越快、电子温度越高清洗效果越好。因此,放电气压的选择对低压等离子体清洗工艺至关重要。(二)气体种类:待处理物件的基材及其表面污染物具有多样性,而不同气体放电所产生的等离子体清洗速度和清洗效果又相差甚远。
