聚合物表面的重新组合:等离子蚀刻机清洗过程中使用的惰性气体会破坏聚合物表面的离子键,pp底漆重涂附着力导致聚合物表面游离官能团。聚合物表面的自由官能团重新组合形成原来的聚合物结构,也可以与相邻同一聚合物链上的自由官能团结合,或与相邻不同聚合物链上的自由官能团结合。聚合物的表面复合可以提高表面硬度和表面抗力。2、高分子聚合物材料表面清洗:等离子体以高能电子和离子轰击表面,机械清除污垢层。
P是占比成效,pp底漆重涂附着力I是積分成效,D是求微分成效。 PID不光具有快速快速的占比成效,而且还具有積分成效的差错清除及其求微分成效的高級调整作用。 当出現差错阶跃时,导函数将马上起成效以抑止这类差错弹跳; 该占比还具有清除差错和削减差错力度的成效。 由于占比效用是长久且占主导性的操控规律性,因此可以使内腔的真空度更为平稳; 積分成效渐渐摆脱了差错。
传统的清洗通常先用洗调剂刷洗,环氧树脂改善PP底漆附着力然后用酸碱液等溶剂结合超声波进行清洗,工序复杂繁琐,耗时、增加人力成本且造成二次污染。低温等离子清洗机(plasma cleaner),是一种全新的高科技技术,利用等离子体对气体施加足够的能量使之离化,等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
例如,pp底漆重涂附着力氧等离子体氧化性高,可氧化光刻胶产生气体,从而达到清洗效果;腐蚀气体的等离子体具有良好的各向异性,可以满足刻蚀的需要。等离子体处理会发出辉光,故称辉光放电处理。辉光放电时,电子和正离子在放电极点电场的作用下分别向阳极和阴极移动,在极点附近堆积形成空间电荷区。由于正离子的漂移速度比电子慢得多,正离子空间电荷区的电荷密度远大于电子空间电荷区,这使得整个极间电压几乎全部集中在靠近阴极的狭窄区域。
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在方程(1-6)中,VE(R)=-E & PHI;(R)是电子的势能。等离子体表面处理 对于等离子体,平均热动能远高于平均势能 KT。E "E & PHI ;. 展开泰勒级数中的方程 (1-6) 并采取二次近似来执行以下操作: NE (R) = NEO [1 + E & PHI; (R) / KTE] (1- 7 ) 式(1-7) 代入式 代入式(1-5),可得下式。代入泊松方程,可得下式。
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