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控制部分的主要电器部件有：真空泵、RF电源、真空计、计时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯的蜂鸣器、功率调节器、放空按钮(带自锁)、气体一按钮(带自锁)、气体二按钮(带自锁)、高频电源按钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。
& EMSP; & EMSP; 等离子清洗机原理： & EMSP; & EMSP; 等离子是一种物质的存在状态，怎么喷漆附着力会好通常物质以固态、液态和气态三种状态存在，但在特殊情况下是第四种。是一种状态。作为地球大气层电离层中的一种物质。以下物质以等离子体状态存在：快速移动的电子、活化的中性原子、分子、自由基、电离的原子和分子、未反应的分子、原子等。它总体上保持电中性。
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电浆清洗机可用于清洁、刻蚀、（活）化和表面准备等，可选用40KHz、13.56兆赫兹、2.45GHz3种射频反应器，以达到各种的清洁速率和清洁（效）果的需要。。在电子工业清洗中的干法清洗-真空等离子设备: 真空等离子设备(低压plasam清洗机)是1种依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”，来去除物体表面污渍的1种清洗设备。
由等离子体发生器稀有气体形成的DBD等离子体不包含反应性粒子： 等离子体发生器DBD等离子体是由2个放电电极中起码一个被电介质覆盖而成的等离子体，在2个电极之间施加中频高压交流电，使电极与物质或物质与物质之间的气体形成放电击穿。 DBD是1种气体放电，将绝缘性物质放入放电空間。介电材料可包覆或悬挂。电极结构的设计形式多种多样。
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