空气电容的固定叶片及动片在调到较大时是基本重合的；如呈现打火现象，附着力小容易打滑 承认叶片有无烧坏，如烧坏可将烧坏位置打磨后再运用，叶片之间的间隔太近也会呈现打火现象。 如呈现电容无法调理的状况，可打开匹配器，手动操控调理电容，承认叶片电容能否正常旋转。需留意电机与空气电容的传动部分是否有无法滚动的状况，呈现卡死需及时报修，如呈现齿轮与轴之间 打滑，可先自行处理。
(2)当真空等离子清洗机匹配器故障,立即确认电极板的位置,销的男性女性位置、屏蔽盒内连接(如果有接触不良,接触导电片是否外墙,是否过近)、验证器初值的确定、内部是否干净、空气电容失配起火、空气电容是否旋转(是否有打滑)、传动电机是否能正常工作、射频电源是否有输出、接线段是否短路、配对器有烧灼气味或以上问题无法解决时，附着力小容易打滑请及时联系专业人员。
固定气容叶片和空气电容动片在调至大时基本重合；如出现打火现象，附着力小容易打滑确认叶片是否烧坏，如烧坏的位置可以打磨后再使用，叶片间的距离过近也会出现打火现象。如发生电容不能调整的情况，可打开匹配器，手动控制调整电容，确认叶片电容是否能正常转动。要注意电机与空气电容的传动部分是否有不转动的现象，出现卡死要及时报修，如果齿轮和轴之间发生打滑，可先自己处理。 三、其他事项（1）匹配器可长时间运转，平时要注意观察和清洗。
在真空腔内通过射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，附着力小于牵引力会怎么样用等离子体轰击清洗后的产品表面，达到清洗的目的。优点：（真空式精密全面）。真空等离子体处理设备表面等离子体-基本原理：表面等离激元是由自由振动的电子和光子在金属表面相互作用产生的沿金属表面传播的电子密度波。其产生的物理原理如下：如图所示，在两个半无限各向同性介质组成的界面上，介质的介电常数为正实数，金属的介电常数为实部为负的复数。
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其关键过程是:第一个清洁部分进入真空室固定,真空泵和其他设备开始真空排气大约10 pa;然后混合气体的低温等离子体清洗机清洗(根据不同的清洗材料,混合气体的选择是不同的,如氧气、H2, Ar, N2,等等),真空室中的极板与保护地之间施加高频电压，使混合气体被击穿并通过辉光放电产生它被电离，再被辉光放电电离，产生等离子体。
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固体表面吸附:像液体一样，固体表面的原子或分子的力场是不均匀的，所以固体表面存在表面张力和表面能，但固体分子或原子不能自由运动。
等离子清洗在清洗过程中通过射频电源电离真空腔内气体产生等离子体，等离子体具有高能量可以通过物理作用轰击金属表面使金属表面的污染物从金属表面脱落，其次电离某种气体可以产生对应的活性粒子，活性粒子会与表面的有机物或者氧化物等发生化学反应进而生成易于挥发的物质可以被真空泵排出反应腔体达到清洗物体表面的效果。气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应。
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