大气压介质阻挡放电等离子体:介质阻挡放电(DBD)是一种将介质插入放电电极之间的气体放电。介质可以被电极覆盖或悬浮在放电空间中。这样,电镀附着力检验方法当对电极两端施加足够高的交流电压时,即使在大气压下,电极之间的气体也会被高压击穿,形成所谓的DBD放电。等离子体清洗放电与辉光放电相似,具有均匀、扩散和稳定的特点,实际上由许多小的快脉冲放电通道组成。
3 低气压等离子体发生器 一种低气压气体放电装置,电镀附着力的试验标准一般由三部分组成:产生等离子体的电源、放电室、抽真空系统和工作气(或反应气)供给系统。通常有四类:静态放电装置、高压电晕放电装置、高频(射频)放电装置和微波放电装置。。等离子体和表面的相互作用主要有以下一些基本过程。1) 吸附和解吸。在等离子体装置中,由于放电对表面的活化作用,表面可能对气体发生强烈的吸附。而在等离子体作用下,可能发生热解吸、电子解吸和光解吸。
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研究低温等离子表面处理设备与物体表面的相互作用。等离子表面处理设备的作用:除气体、离子和电子的分子结构外,电镀附着力检验方法等离子表面处理设备还含有电中性原子。被能量激发。也有人说,原子团(和氧自由基)的波长和能量以及等离子体发出的光在等离子体表面起着重要作用。原子团与物体表面的反应。由于等离子表面处理所含的氧自由基比离子多,氧自由基在等离子表面处理中起着重要作用,氧自由基的作用主要是化学变化中的能量转移。
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基本操作过程将待处理物放在支架或电极上,关闭反应室门;然后抽真空至背面和底部的设定真空值,并引入相应的工艺气体,使真空度保持在20-Pa范围内围;接下来,启动电源形成等离子体与产品或材料进行物理或化学反应,包括等离子体清洗、等离子体活化、等离子体刻蚀、等离子体聚合;整个反应完成后,通入压缩空气或氮气,使空气破碎,取出物体。。工作压力对等离子体清洗效果的干扰;工作压力是等离子体清洗的重要参数之一。
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