这样产生的电离气体称为气体放电等离子体。气体放电按外加电场的频率分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等。直流 (DC) 放电由于其简单性至今仍在使用。特别是用于安装可提供大量电力的工业大气等离子清洗机。低频放电范围一般为1-100KHZ,株洲在线式等离子清洗机供应商器件常用频率为40KHZ。目前,实验设备和等离子处理设备中最常用的常压等离子清洗机是高频放电设备,其频率范围为10-100MHz。

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