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与干式等离子清洗相比,等离子清洗仪器湿式清洗往往会产生大量的废物和化学气体,并且无助于健康或环境安全。有客户反映,使用等离子清洗设备操作不当,造成材料表面溅射损伤。其实只要能量控制得当,处理过的表面就可以增加工件本身的附着力。在某些情况下,等离子清洗是必不可少的过程。例如,AR 等离子体用于从材料中去除表面氧化物。当然,一些工艺测试表明,可以使用逐步清洁工艺将这种损害降低到低水平。
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冷等离子体可在常温常压下产生,安装条件简单,能耗低,对环境和仪器系统要求低,易于工业化生产和应用。冷等离子技术是一种安全环保的技术,可以满足当前可持续发展的要求。冷等离子表面处理改性原理在低温等离子材料表面处理过程中,材料表面暴露在等离子形成的活性环境中,其中含有大量的高能电子、原子等活性粒子。在激发态,分子和反应性自由基。如果等离子体或材料表面含有挥发性单体分子,则材料表面会发生聚合反应。
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21世纪初,我国寻求通过产业转型重振自主创新,包括大规模私有化、引入税收优惠和提供新的资金。但大多数这些努力都是徒劳的。不可否认,我国的半导体投资太小、太分散,对目前的全球市场影响不大。 2015 年,中国政府启动了另一项计划,宣布了一系列以技术为重点的政策纲要。总体目标名为“中国制造2025”,包括2020年半导体自给率达到40%和2025年达到70%的总体目标。
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