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这类喷嘴等离子体集中,等离子蚀刻 方向性力大,能量高,但面积比较小,面积比较大,就是现在的旋转式喷嘴。可以达到 8 厘米的直径。真空室内的等离子体是无方向性的,只要暴露在外表面就可以清洗干净。这也是真空等离子清洗机的一大优势。例如,大气压等离子体只能清洁某些特定材料,或相对平坦的材料,通常是手机的玻璃板和框架。常压等离子清洗机2:选用的气体有差异,各种复杂的工艺都在真空室中精确(准确)控制。通常有多种气体可供选择。

除了同步脉冲技术外,那个属性决定了等离子蚀刻的各向异性还有源功率脉冲、偏压功率脉冲、嵌入式脉冲( Embedded)以及错步脉冲( Delayed)技术,都是在EED上微调整或者用在特殊制程。例如源功率脉冲时一般没有偏压,所以适用于表面材料精细的处理(去除)。偏压功率脉冲时,由于源功率连续工作,其电子温度不会随脉冲而降低,如需降低往往通过升高反应腔压力来实现,但因此会减弱各向异性蚀刻能力,不过配以高功率底部偏压可解此问题。