工作时，底材附着力比较高的材质空腔内的空气首先被真空泵抽吸，形成类似真空的环境。然后等离子体在整个腔中形成并直接与腔相互作用。里面的材料经过表面处理。这种空腔等离子体的治疗效果优于电晕等离子体。后续运行成本高，主要是由于真空泵在连续运行过程中耗电量大。此外，设备在运行时，真空环节需要更多时间，在自动化生产线和对加工效率要求较高的工业领域使用时限制更加明显。另一种大气压辉光等离子体技术。
(A) 在供应和再生通道和挤出机中放置四个装满柔性板的材料箱。去掉前面的药片被挤出到装卸输送系统中。 (B)装卸料传动系统通过压辊和皮带传动将物料输送到换料通道的较高平台，底材附着力比较高并通过供料系统放置物料。 (C) 连接材料的通道被传输到等离子体反应室的底部，真空室被关闭并通过改进的系统泵送以进行等离子体清洁。当高台移动到清扫位置时，低台移动到第二层收料的接收位置。
真空等离子体清洗机是基于其高性能、品质优良、产品安全的特点，底材附着力比较高等离子体清洗机加工效果精度高，很多产品本身的材质问题，所以不能使用像常压等离子体设备那样温度比较高的等离子体清洗设备，所以可以选择真空等离子体清洗机大气压与真空等离子清洗机的差异第一，由于大气等离子体处理器的喷嘴是直接注入离子的，这种情况通过喷嘴的结构间接改变了离子（直接面对被处理材料）的运动方向。
选用稀有气体开展电浆清洗机表面处理时，底材附着力比较高若处理后聚合物材质自身含有O2，大分子在大分子断裂分解后，大分子碎片进入等离子技术，为等离子系统提供O2，同时产生等离子技术效应。假如材质自身没有O2，用惰性电浆清洗机技术处理后新生的自由基和空气中的O2也会导致O2结合在大分子链上。结果表明，稀有气体等离子技术在处理含氧聚合物材质时会产生交联腐蚀，并引入极性基团。
底材附着力比较高
此外，火焰可分为火焰核心、中间火焰和外焰，其中外焰由于接触氧气或氧化剂较多，燃烧反应也较高（填充），温度较高。如果易燃材料与氧化剂接触，温度达到燃点时就会产生火焰。有些材料燃烧时，还会产生一些固体颗粒，在热气的推动下混合在火焰中。燃烧时，火焰的颜色因材质而异。随着温度的升高，火焰中粒子的离子性质越来越强，火焰温度普遍较高，属于高温等离子体。有些低温火焰由于电离度较低，没有完全按等离子体计算。
等离子体处理具有不受限于被处理基片的材质、可实现复杂结构的精确控制清洗、 绿色环保等优点。。动力电池的可靠性要求极高，既要稳定放电，又要保证所有焊线不脱落，因此在电 芯处理过程中，需要利用等离子清洗机清除电芯表面的有机物和微小颗粒并粗化焊接表 面以保证良好的焊接效果。以锂电池、氢气电池为代表的新能源汽车动力电池汽车，已经成为全球新的产业竞争焦点。
等离子设备用于去除外层的接触污渍，减少溅射留下的残留液体，减少外层的吸附。一般的光彩在电清洗中，材料被置于电离蒸汽中，导致低能离子与材料外层的电子器件发生碰撞。冲击能量取决于功率、射频或直流电流放电特性，以及被清洁材料的特性（如绝缘或导电性）。例如O2放电产生的离子和电子器件不仅会释放杂质，还会在有机物外层产生挥发性物质，冲击材料外层以达到清洗的目的。
湿法清洗有很多限制，从对环境的影响，原材料的消耗以及今后开展的考虑，干式清洗要比湿法清洗好。而发展较快且占优(显)的是等离子清洗机。等离子体是诸如电子、离子、原子、分子或自由基的集合。
底材附着力比较高的材质
当Vs>Vp时，底材附着力比较高电极附近的电场吸引电子而排斥阳离子，因此电子密度高于离子密度，在电极附近形成电子空间电荷层。这被称为电子。鞘。此时，流向电极的电子增加，如上图所示。反之，形成称为离子鞘的正离子空间电荷层。此时，流过电极的离子电流增加，如下图所示。对于放电等离子体，靠近阴极的离子鞘层通常更为重要。。等离子清洗机可以对材料表面进行表面清洗、表面活化和表面蚀刻。
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