通常使用的真空泵是旋转油泵，山东大气等离子清洗机代理高频电源通常用13.56M赫兹的无线电波，设备的运行过程如下： （1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。 （2）向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在 Pa。 根据清洗材质的不同，可分别选用氧气、氢气、氩气或氮气等气体。
同时，山东大气等离子清洗机代理负载 La2O3 提高了 CO2 转化率，但降低了 CO 产率。当 La2O3 负载量在 2% 到 12% 范围内变化时，CH4 转化率和 C2 烃产率在峰形上略有变化，但在 CO2 的情况下。转化率和 CO 产率影响不大。当 La2O3 负载量达到 12% 时，催化活性略有下降，而当负载量从 0.01% 增加到 1% 时，Pd 对 CH4 和 CO2 的转化具有根本性的影响。
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国内市场开始启动到现在大约有5年的时间，主要的客户群体为：手机制造、LCD制造、计算器生产、芯片制造PCB线路板厂、汽车行业、航天、军工、科研机构、电池制造、高档纺织等等。。等离子清洗机的结构： 等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
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