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等离子表面清洗处理机在硅片、芯片行业中的应用:硅片、芯片和高性能半导体是灵敏性极高的电子元件,等离子清洗机技术作为一种制造工艺也随着这些技术的发展而发展。等离子体技术在大气环境中的开发为等离子清洗处理提供了全新的应用前景,特别是在全自动生产方面发挥了重要作用。
在具体的诊断过程中,探针相对于地的偏置电压为VB,而此时等离子体跟地相对的电位为φp。当探针电压Vb=φp时,探针处于跟等离子体一致的电位,此时它收集到的电流主要来自易动的电子。当增加Vb并使其超过φp时,电流将趋于饱和而达到电子饱和电流值,但电流也会因探针有效收集面积的增加而随电压增加,这跟探针的几何形状有一定关系。
对原膜、等离子体改性膜样品在PAN超滤膜进行通量测试可以发现,与原膜相比通量显著增加,超滤膜表面亲水性明显改善,蛋白质分子不易在膜表面附着,抗污染性能和渗透性能也进一步提高。等离子体改性虽然改变了膜表面结构,但刻蚀作用并不明显,改性后膜孔径减小,对大于膜孔径的蛋白质分子有很好的截留效果。
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