微波等离子清洗原理（微波等离子体化学气相沉积法）

然而，微波等离子清洗原理包装过程中的污染物一直困扰着人们，这有利于环保，而微波等离子清洗技术，其特点是清洗均匀、重复性好、可控性强、三维加工能力强、方向性强，将解决这个问题。等离子体是一种电离气体，电子密度为- 74n，整体呈电中性。它由离子体、电子、自由基、光子和中性粒子组成，是物质的第四种状态。等离子体清洗是利用等离子体在分子水平上对工件表面进行处理，通过化学或物理作用去除污垢，提高表面性能的过程。

探针离子饱和电流测得的密度一般高于微波测得的密度。然而，微波等离子清洗原理在许多情况下，用探测器和微波技术测量的密度是非常接近的。使用离子饱和电流测量等离子体密度的准确性，关键在于探针鞘边界的电子分布是否接近麦克斯韦分布，因此取决于被诊断等离子体的类型。。

目前，微波等离子体化学气相沉积法在实验设备和等离子体工艺设备中比较常用的是大气等离子体清洗机比高频放电装置，其频率范围为10 ~ MHz。由于它属于射频频谱，故又称射频放电(Radio frequencydischarge, RF discharge)，常用频率为13.56MHz。当大气等离子清洗机的电场频率超过1GHz时，属于微波放电，简称MW放电。常用的微波放电频率为2450MHz。。

等离子体设备厂家添加气体对等离子体中甲烷转化反应的影响:为了减少碳沉积，微波等离子清洗原理进一步提高甲烷转化率和C2烃类选择性，等离子体设备厂家研究了各种气体对反应的影响。陈Dongliang等人用微波等离子体技术研究甲烷偶联反应得到N2,和结果表明,乙炔的生产高峰改变N2的增加,而生产C2H6和C2H4略有下降,和HCN的反应中检测出产品。

微波等离子体化学气相沉积法

2.等离子体发生器在低温条件下激活高能化学反应;2 .反应只涉及材料的表面，对材料基体没有损伤;3 .干燥技术，节水、节能、降成本、无污染;5.等离子体发生器反应时间短，效率高，可以实现传统化学反应无法实现的反应;等离子体发生器可以处理形状复杂的材料，表面处理均匀性好。低温等离子体发生器采用固态微波源作为激励源，工作稳定，稳定性高，使用寿命长，可使用多种气体，可调节等离子体温度，适应多种应用。

高温等离子体，如太阳能，可控热核聚变等离子体。低温等离子体可分为热等离子体和冷等离子体，热等离子体如电弧、高频和燃烧等离子体，冷等离子体如低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体和介质阻挡放电等离子体。低温等离子体加工设备按气压等级可分为低压低温等离子体(如辉光放电、微波放电等离子体)和常压低压等离子体(如电晕放电、DBD等离子体)。按频率可分为直流放电、高频放电和微波等离子体放电。

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ICP等离子体是由受电场加速的电子与气体分子剧烈而频繁的碰撞而形成的，从而激发、电离和离解气体分子。ICP等离子体具有ECR等离子体的特点，具有无内电极放电、无污染、等离子体密度高(~1010cm-3)、低成本等优点，使其应用更加广泛。ICP等离子体增强气相沉积(ICPECVD)是一种化学气相沉积技术，其基本原理是利用ICP等离子体热解反应前驱体，将射频放电的物理过程与化学气相沉积相结合。

微波等离子清洗原理

等离子体发生器的主要工作原理是通过升压电路将低电压提高到正高压和负高压，微波等离子清洗原理利用正高压和负高压电离空气产生大量的正离子和负离子，负离子的数量大于正离子的数量。同时,正离子和负离子在空气中和带正电和负电,立即产生一个巨大的能量释放,从而导致周围细菌的结构的改变或能量的转换,导致死亡的细菌,达到杀菌作用。

电离等离子体的活性气体可以抑制材料表面形成这样的低摩擦系数。这种低摩擦设备减少了对患者粘膜的机械损伤，微波等离子体化学气相沉积法减少了插入或取出患者时的不适。Live等离子体技术与其他技术相结合，特别是二甲苯聚合物涂层技术，已经成功地应用于各种医疗器械的制造，如眼科和影像外科。通过薄膜沉积法在塑料制品表面沉积一层阻隔层，可以减少酒精、其他液体或蒸汽对塑料制品表面的渗透。