上述方法的共同之处都是对AP进行包覆改性,山西粉末等离子清洗机使用方法但包覆剂的用量较大,有可能导致推进剂的能力降低,从而影响其使用,因此寻找AP的表面处理新方法尤其重要。表面等离子处理设备低温等离子体技术对粉体进行处理可在粉体表面引入活性基团或形成保护膜,从而达到改善粉体分散性、相容性、力学性能等多项性能。该技术具有工艺简单、效率高、连续性强、无溶剂、环境污染小等优点。
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使用Cl2/Ar/H2的混合气体,山西粉末等离子清洗机使用方法在150℃下虽能获得较好的磷化铟图形,高温度下可以获得光滑连续的图形形貌,但150℃的温度毕竟已经不能算是低温。 2007年清华大学报道了进一步优化气体配比并改善其他条件的方法来克服这些难题,该蚀刻方法可以在室温条件下克服副产物难挥发的难题。因为合适的CH4和氯气的气体配比会形成In(CH)x的副产物,这类副产物较InClx更容易挥发去除。
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