微波等离子清洗机结构组成介绍微波等离子清洗机总体结构分为五个部分：设备主体、真空系统、微波放电系统、控制系统和供气系统。微波等离子清洗设备结构示意见图1。其清洗过程是：在真空腔内压力到达一定范围时充入工艺气体,当腔内压力为动态平衡时，利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氧、氩、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。
图一 微波等离子清洗机结构示意图真空系统结构
微波等离子清洗机真空系统主要包括等离子工作腔、磁流体密封、真空连接管道（包含气动角阀）、真空测量计及真空泵等。
激发的微波等离子体在工作腔内形成特定的等离子分布，对放置在工作腔内的被清洗工件进行清洗及表面处理，为此，工作腔内需要包含真空、充气、放置样品支架、观察窗口等设施，以确保特定应用的需要。
微波放电系统
微波源
微波放电系统主要由微波源及微波反应腔组成，微波源是将交流电源转变成微波功率的部件，典型微波源是由磁控管及其供电电源、微波传输系统、冷却装置等组成。
微波反应腔
微波反应腔是微波等离子体系统中最核心的元件，需要根据不同系统的具体要求专门设计、加工。微波反应腔的作用在于确保微波功率在腔中形成特定的模式分布，并使之和特定的等离子体、目标反应物产生最有效的相互作用，从而稳定的激发并维持等离子体。
微波反应腔的主要功能归结起来有两条：一是最佳的功率传输和耦合；二是最佳的互作用效果。一般来说，微波反应腔是这样一套装置或终端互作用系统：它将微波功率以最佳的匹配或最小的反射耦合至该装置，并在其中形成特定的电场分布，使之能与被处理的工件产生最佳的互作用效果。
供气系统
供气系统设计通过控制质量流量计来调整和控制工艺气体流量。微波等离子清洗机结构组成介绍00224435