2.低温等离子体减污机理,产品附着力检测标准等离子体化学反应过程中等离子体表面处理器的能量转移,等离子体化学反应中的能量转移大致如下:(1)电场+电子→高能电子的结合;(2)高能电子+分子(或原子)→活性基团(受激原子、受激基团、自由基团);(3)活性基团+分子(原子)→产品+热度;(4)活性组+活性组→产品+热度。

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激发频率为40KHz的真空plasma等离子清洗机电源功率一般都比较大,产品附着力检测标准温度一般也比较高,清洗温度70~100℃。因此一般大型的中频真空等离子清洗机真空腔室都配有水冷电极托盘,防止清洗温度过高对产品造成损伤。

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在等离子体技术中,等离子体是通过提供能量将气体激活到喷枪中而形成的,喷枪产生高能离子和电子,以及其他活性粒子。所以改变表面是非常有效的。等离子体技术特点可分为两类:物理作用:离子冲击对表面的剥蚀。化学:电离气体在表面产生化学反应。这些工艺参数,如压力、功率、处理时间、气体流量和气体,是可以调整的,随着这些参数的变化,等离子体的工作方式也会发生变化。通过这种方式,可以在一个过程中实现多种效果。

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当碰撞能量很高时,分子中的低能电子围绕原子核运动,并在碰撞中获得足够的能量被激发,在远离原子核的高能轨道上运动。在等离子器件中,这些高能分子称为激发态分子,形式为 XY*。当被激发分子中的电子从高能级跃迁到低能级时,多余的能量以光的形式释放出来,因为人们在不同频率的光下看到不同的颜色。如果碰撞电子的能量足够高,电子吸收的能量可以使电子远离原子核,成为自由电子。即,分子被电离。

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