辉光放电在两极电场的作用下,附着力最大的树脂电子和正离子分别向阳极、阴极运动,并在此过程中堆积在两极附近形成空间电荷区 。又因为正离子的漂移速度远小于电子,所以正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区要大得多,让整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。这也是辉光放电的显著特征,而且在辉光正常放电时,两极间电压不会随着电流的改变而发生变化。

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等离子清洗机不单单会提生粘接剂的品质,附着力最大的树脂还提供了在使用低成本用料的新技术可能性。通过等离子体表面处理,使用料外观兼备新的性能,使普通用料兼备原有特殊材料的表面处理性能。其次等离子清洗机应用的清洗效应会让表面活性剂不再是需要,既环保又节省了大量的的清洗干燥时间。。

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除四氟化碳(CF4)外,氢(H2)、氮(N2)、氧(O2)、氩(Ar)等是等离子体清洗机常用的工作气体。等离子体清洗过程中容易与金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料发生反应。其中,物理反应机理是活性粒子轰击待清洗表面,使污染物从表面分离,最后通过真空泵吸走;其化学反应机理是各种活性颗粒与污染物反应生成挥发性物质,再通过真空泵将挥发性物质吸走,从而达到清洗的目的。。

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