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蚀刻气体将气体与衬底分离并从衬底中提取气体。空管。在相同条件下,刻蚀机概念股氧等离子体处理比氮等离子体处理更有效。安全可靠的等离子蚀刻技术,如果需要蚀刻,如果需要去除蚀刻后的污渍、浮渣、表面处理、等离子聚合、等离子灰化或其他蚀刻应用,可根据您的要求进行制造。我们既有常规等离子刻蚀系统,也有反应离子刻蚀系统,可以生产系列产品,也可以为客户定制专用系统。它可以提供快速/高质量的蚀刻,提供所需的均匀性。

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这对于研究过程参数非常有用。等离子刻蚀技术的典型应用有半导体/集成电路、氮化硅、氮化铝/氮化镓、砷化镓/砷化铝、砷化镓、/InAlAs)、硅、锗硅、硅硅酸盐陶瓷(Si3N4)、硅氢。

采用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧气结合的方法,刻蚀机概念股龙头6000万股等离子刻蚀机可以在晶圆上形成微米级氮化硅刻蚀,四氟化碳是氧气和氢气,可以结合使用。 (2)在线路板制造行业的应用智能制造等离子刻蚀机的蚀刻在线路板制造行业的应用很早。刚性和柔性电路板都是通过从孔中去除粘合剂来制造的。传统工艺采用化学清洗方法。

但是随着电路板行业的发展,刻蚀机概念股电路板越来越小,孔越来越小,化学药品越来越难去除孔内的粘合剂,影响后处理...等离子蚀刻机的蚀刻是干的,没有化学残留物,并且等离子是高度扩散的。产生的蚀刻气相等离子体有效地腐蚀微米级的孔,并且可以通过工艺参数进行调整。咬的量。 2、C4F等离子刻蚀机使用注意事项 (1)四氟化碳气体为无毒、不易燃的气体,但浓度高时可能引起窒息和麻醉,需注意。使用时建议通过密封件和防爆管。

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