官能团具有活性基团，金属表面增加附着力的树脂可以明显（显着）提高材料的表面活性。 2.材料表面的蚀刻效果-物理效果等离子体中的大量离子、激发分子、自由基和其他活性粒子作用于固体样品的表面，而不仅仅是去除它。产生蚀刻的原始表面污染物和杂质，使样品表面粗糙，形成许多细小凹坑，增加样品的比表面积。提高固体表面的润湿性。
随着等离子体注入功率的增加，增加附着力的增塑剂C2H6转化率迅速增加，这是由于当等离子体能量密度增加时，等离子体中电子能量和电子密度均随之增大，高能电子与H2发生非弹性碰脱撞概率增加，因此产生活性物种概率增加，导致C2H6转化率增加，其他生成产物所需的各种CHx及C2Hx自由基浓度增加，促进了C2H4、C2H2生成量的增加。
出料次数越多，增加附着力的增塑剂出料速度下降越慢。如果腔内有挥发性物质，也可造成吸尘缓慢。比如透水材料-海绵透水材料-铜线骨架。而且真空等离子体清洗机受整体结构的限制，一般不能进行改装。在思想分析上，可以通过增加抽吸量来解决，但如果增加抽吸量后产品减少，真空度就会降低；电源的负荷会增加且不稳定，容易烧坏电源和匹配器，造成不必要的损失。
这种氧化膜的去除通常通过浸泡在稀氢氟酸中来完成。等离子清洗机在半导体晶圆清洗工艺中的应用等离子清洗具有工艺简单、操作方便、无废弃物处理、无环境污染等问题。但是，增加附着力的增塑剂它不能去除碳或其他非挥发性金属或金属氧化物杂质。等离子清洗常用于光刻胶去除工艺。在等离子体反应体系中通入少量氧气，在强电场的作用下，等离子体中产生氧气，光刻胶迅速氧化成易挥发的气体状态。
金属表面增加附着力的树脂
另一方面，从能量转移的观点来看，当金属中的自由电子与激发的荧光分子相互作用时，荧光分子迅速将能量转移给自由电子。这些传输的能量以比自由空间中的荧光分子更高的频率发射，因此钻石荧光有所增加。激发的荧光分子通过弛豫过程将能量传递给金属以形成等离子体。由未减弱的荧光分子发射的荧光诱导这些等离子体产生与荧光分子的发射波长相匹配的辐射。这将增加荧光强度。
对于较短的导线，漂白效应将强到足以抵消漂移的离子，从而抑制瞬移。电迁移主要通过运动进行体积传递和扩散效应，动量传递与金属中的电流密度成正比，扩散效应与金属中的温度成正比。
这种气体原子并不能直接进入大分子表面的大分子链，但是由于这些非反应性气体等离子中的高能粒子对表面的轰击，进行能量传递，产生大量的自由基，这些自由基通过在表面上形成双键和交联的结构而在表面形成了大量的自由基，因此非反应性气体等离子体通过表面形成了薄而细的交联层，不仅改变了材料表面的自由能，而且减少了聚合物内部低分子物质(增塑剂、抗氧剂等)的渗出。
（2）选用非反应性气体的工艺原理非反应性气体工艺气体如Ar，He，H2等，这些气体原子是不直接进入到材料表面的大分子链中，但这些非气体离子中的高能粒子能对材料表面的轰击，进行能量传递，产生大量的自由基，借助于这些自由基在材料表面形成双键和交联的结构，所以非反应性气体等离子体在材料表面形成薄薄的致密的交联层，不仅改变了材料表面的自由能，而且还可以减少高分子内部低分子物质(增塑剂、抗氧剂等)的渗出。
增加附着力的增塑剂
即当处理的材料中含有易挥发的物质，金属表面增加附着力的树脂如水分、溶剂或增塑剂等，这些物质在真空环境中会逸出，导致真空度降低，称为渗气，即反映为设备抽真空速度较慢。。
