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所谓直接等离子体, 亦称作反应离子蚀刻, 是等离子的一种直接浸蚀形式。它的主要优势是高的蚀刻率和高的均匀性。直接等离子体具有较低浸蚀, 但工件却暴露在射线区。顺流等离子是种较弱的工艺, 它适合去除厚为1～5nm的薄层。
在引线键合之前，上海rtr型真空等离子体喷涂设备哪里找气体等离子体技术可以用来清洗芯片接点，改善结合强度及成品率，表3示出一例改善的拉力强度对比，采用氧气及氩气的等离子体清洗工艺，在维持高工序能力指数Cpk值的同时能有效改善拉力强度。据资料介绍，研究等离子体清洗的效能时，不同公司的不同产品类型在键合前采用等离子体清洗，增加键合引线拉力强度的幅度大小不等，但对提高器件的可靠性而言都很有好处。。
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与等离子体清洁器室中 PDMS 空气污染的成功等离子体耦合相关的参数等离子室中的气体成分可以改变玻璃或 PDMS 表面的化学键。一些杂质（即使是非常少量的）会污染样品表面。最常见的污染物是来自真空泵或压缩机的油分子。由于等离子清洁器腔室中的油分子，可能会显示与前一个相同的等离子，但由于化学成分的改变，PDMS 的结合力不是很强。气体选择表面状况取决于所使用的气体。腔室内的大气压等离子体几乎总能满足实验需要。
在相同的工艺条件(压力场、温度场等)下，使树脂更充分地浸渍纤维表面，提高了浸渍均匀性，改善了复合材料液体成型的工艺性能。 3、改善复合材料表面的涂层性能： 常规的清洗方法不仅要采用有机溶剂，而且由于磨削过程中会产生大量的粉尘污染，对环境造成严重影响，危害操作者的人身安全。
等离子表面处理技术不仅可以清洗外壳在注塑时留下的油污，更能很大程度的活(化)塑料外壳表面，增强其印刷、涂覆等粘接效(果)，使得外壳上涂层与基体之间很牢固地连接，涂覆效(果)很均匀，外观更加亮丽，并且耐磨性大大增强，长时间使用也不会出现磨漆现象。
等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。 等离子清洗机原理： 等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。
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