冲击型二氧化碳激光器一般采用二氧化碳气体作为激光源,附着力检测面积辐射是红外的,而受激准分子激光器由于热效应与燃烧分解树脂分子不同,它属于热分解,加工的孔洞形状比受激准分子激光器差得多,可加工的孔径基本为70 ~Um,但加工速度明显快于激发态准分子激光的速度,且打孔成本要低得多。即使如此,加工成本也比下面所述的等离子蚀刻孔法和化学蚀刻孔法高得多,尤其是单位面积有很多孔的情况下。

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与传统湿法清洗技术相比,等离子清洗技术采用干法工艺,不消耗水和化学试剂,降低(低)成本,无二次污染(2)具有在线生产能力,可实现全自动化,节省人力,加工时间短、效率高、成本低;(3)不分基材类型均可处理,可处理形状复杂的材料,材料表面处理均匀性好。

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