由于等离子体的方向性差，载玻片等离子表面清洗它可以深入物体的毛孔和凹陷处进行清洁，因此不需要过多考虑被清洁物体的形状。而这些难清洗部件的清洗效果与氟利昂清洗效果相当或更好;五、采用等离子清洗，清洗效率可大大提高。整个清洗过程可以在几分钟内完成，因此具有收率高的特点;六、等离子体清洗需要控制真空度Pa左右，这种清洗条件容易实现。
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整个清洗过程大致如下:将等离子体清洗后的产品送入真空固定，载玻片等离子表面清洗启动运行装置，启动排气，使真空室的真空度达到标准真空度10Pa左右。一般排气时间在几分钟左右;将等离子清洗气体引入真空室，保持室内压力稳定。
载玻片等离子表面清洗
等离子清洗机采用高效专用电极，是生产均匀等离子的保证。等离子体清洗机特殊的电极和托盘结构，可以充分利用真空室内部的空间，使加工效率提高，同时也保证了样品能得到最有效的清洗。等离子处理器专用过载、短路和过热保护电路，可确保射频电源的稳定和安全。等离子清洗机整体模块化设计，安装维护非常简单。对于形状复杂的样品，等离子体清洗机可以找到合适的溶液。等离子清洗机还可以实现对固体样品内部位置进行清洗。。
与其他废气处理方法相比，等离子体技术具有能耗低、使用方便、无二次污染等特点，是目前废气污染管理中一种有前途、富有成效的技术方法。传统的针对VOC和异味气体(如吸收法、热氧化法、膜分离法、生物反应法等)和光化学催化法由于气体浓度低，供动力不高，使用不同的设备处理废气，通过比较冷等离子体攻击不同放电方式对等离子体功率的消除，发现介质阻挡放电等离子体的去除率相对较高，这已成为近年来的研究热点。
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载玻片等离子表面清洗器
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