等离子体在电磁场内空间运动，附着力变小的意思并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果 等离子清洗机具备以下九大优势：一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。
等离子技术是一新兴的领域，附着力变小的意思该领域结合等离子物理、等离子化学和气固相界面的化学反应，此为典型的高科技产业，需跨多种领域，包括化工、材料和电机，因此将极具挑战性，也充满机会，由于半导体和光电材料在未来得快速成长，此方面应用需求将越来越大。。
通常情况下，附着力变小的意思等离子体中存在电子、正离子和中性粒子等成分，中性粒子中又包含有分子、原子和原子团等。无论是部分电离还是完全电离了的气体，在某些方面跟普通气体有相似之处，但主要性质却发生了本质变化。在等离子体中，电离度超过千分之一，其行为主要由电子和离子之间的库伦力所支配，所以“电离了的气体”是一种导电率很高的导电流体，它的运动受电磁场的影响非常明显。
这样产生的电子在电场中加速时会获得高能量，考试中附着力变小什么意思并与周围的分子或原子发生碰撞，结果使分子和原子中又激发出电子，而本身又处于激发状态或离子状态。这时物质存在的状态即为等离子体状态。在高频电场中处于低气压状态的氧气、氮 气、甲烷、水蒸汽等气体分子在辉光放电的情况下，可以分解出加速运动的原子和分子，这样产生的电子和解离成点有正、负电荷的原子和分子。
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简单来说，自动清洗台同时清洗多片晶圆，优点是设备成熟，生产率高，而单片晶圆清洗设备逐片清洗，优点是清洗精度高，可有效清洗背面、斜面和边缘，避免晶圆间交叉污染。45nm之前，自动清洁台可满足清洁要求，目前仍在使用；而45以下的工艺节点则依赖于单片晶圆清洗设备来满足清洗精度要求。在未来工艺节点减少的情况下，单片晶圆清洗设备是目前可预测技术下清洗设备的主流。工艺节点降低了挤出成品率，促进了对清洗设备的需求。
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