真空等离子清洗机工作特点及等离子鞘现象振荡特点:真空等离子清洗机广泛应用于电子、通信、汽车、纺织、生物医药等领域。
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然而，对于高频射频放电，只有等离子体中的电子才能响应射频电磁场的变化，离子由于惯性大，只能以平均时间响应电场。电子在整个无线电频段内对射频场的变化立即作出反应。具体而言，13.56 MHz频率及其谐波通常用于工业和医疗应用，而其他射频频率则用于通信。空间等离子体推进器中使用的螺旋波等离子体源也在rf波段工作，通常为13.56 MHz。材料加工过程中使用的等离子体也可以通过直流和低频放电或微波放电产生。
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施加到电极上的负偏压与射频电压一起形成复合电压，如下图所示。图 4. 电极上的直流和交流波形 2.1 对 VDC 元件的影响 2.1.1 混响腔尺寸和蚀刻模式 VDC 是电极和等离子体之间的电压降。 A1为电极1的面积。 ，A2为电极2的面积，N为指数因子，通常为1，如果电极1通电，电极2接地，这个方程是任意的，其VDC组成如下图所示。可以应用到电极结构。
常用的等离子体激发频率有三种：激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体，13.56MHz的等离子体为射频等离子体，2.45GHz的等离子体为微波等离子体。不同等离子体产生的自偏压不一样。超声等离子体的自偏压为1000V左右，射频等离子体的自偏压为250V左右，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏，而且三种等离子体的机制不同。
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等离子体清洗机产生等离子体的装置是在密封的容器内设置两个电极形成电场，通信产品附着力检测配合真空泵达到一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离和分子或离子的自由运动距离越来越长。在电场作用下，它们碰撞形成等离子体。这些离子具有很高的活性，其能量足以破坏几乎所有的化学键，并在任何暴露的表面上引起化学反应。
其物理化学反应机理是活性粒子与被清洗表面碰撞，通信产品附着力检测国标污染物从表面分离出来，由真空泵吸出。化学反应机理是各种活性颗粒与污染物反应生成它们。挥发物，然后是挥发物，被真空泵吸出。等离子清洗主要以物理反应为主，本身没有化学反应，清洗表面不留氧化物，因此可以保持被清洗物体的化学纯度。待清洗表面的各种物质选择性低，腐蚀速度慢。使用化学反应等离子体进行清洗具有清洗速度更快、选择性更高、去除有机物更有效的优点。
