宜昌大气宽幅等离子清洗机（宜昌大气常压等离子清洗机）

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等离子体放电发生在两个介电层之间，宜昌大气常压等离子清洗机等离子体可以避免与金属电极直接接触。此外，与单介质层放电结构相比，双介质层具有更均匀的等离子体和更细的放电线，使其适用于电离腐蚀性气体和产生高纯度等离子体。还有一种，如下图，主要用于在同一个等离子发生系统中产生不同的等离子。当 DBD 等离子清洗机采用圆柱形结构时，它们通常用于产生冷等离子炬以完成不规则材料表面改性。下图显示了三种常见的圆柱形电极结构。

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为什么单晶圆等离子发生器对半导体行业产生如此大的影响？关于全球市场份额，自 2008 年以来单晶圆清洗设备作为主要的等离子发生器，性能优于自动清洗机，今年是业界引入 45 NM 结的时候。据 ITRS 称，2007 年实现了 45 NM 工艺结的量产。松下、英特尔、IBM、三星等在此期间，我们开始量产 45NM。

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为什么要使用塑钢发动机护罩进行实验？它是通用的，因为有许多由塑料钢制成的发动机护罩。塑钢的主要化学成分是改性聚合物，又称改性共聚物PP。具有优良的刚性、弹性、耐腐蚀性、耐老化性、加工性，碰撞时不影响下沉功能。等离子清洗设备环保且使用成本低廉，现在广泛用于发动机护板发泡之前。以上测试结果不费吹灰之力：上图显示，在等离子清洗机处理之前，塑钢发动机护板的原始PP表面能较低。。

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等离子清洗由于其优良的均匀性、重现性、可控性、节能环保等优点，宜昌大气常压等离子清洗机应用范围十分广泛。在等离子清洗过程中，氧变成含有氧原子自由基、激发氧分子和电子等粒子的等离子。这种等离子体-固体表面反应可分为物理反应（离子冲击）和化学反应。物理反应机理 活性颗粒与待清洁表面碰撞，污染物从表面被清除并被真空泵吸走。化学反应机理是O-活性粒子将有机物氧化成水和二氧化碳。分子从表面移除（去除）并被真空泵吸走。