由此产生的等离子体密度可以达到1017-1018m^3，油漆底材附着力不好的原因电子温度2-4eV，直径30cm。由于很容易在宽压力范围（1 至 40 Pa）内获得大直径、高密度的等离子体，近年来，ICP在半导体等离子处理技术中得到广泛应用。由c=λν可知，13.56MHz的电磁波波长为22m，比天线的长度还长，所以位移电流可以忽略不计，采用准静态法处理心脏的磁场。
在利用等离子体对材料进行改性或清洗时，附着力不好表面预处理通常使用的是低温等离子体，气体温度都不会超过 °，这是宏观上来讲的；但从微观上来讲，当等离子体与材料表面发生化学或物理反应时，假如能量在某个局部区域聚集，材料处理时间一旦过长，就有可能对某些材料表面造成损伤。
氢离子等离子发生器电源等离子体放电时选用惰性气体进行等离子体表面处理，附着力不好表面预处理如果聚合物材料本身含有氧气，大分子裂解产生大分子碎片，进入等离子体，为等离子体系统提供氧气，也会产生氧气等离子体效应。
在线式等离子清洗机与离线式等离子清洗机按照是否在线又可以分为批量离线式等离子清洗机，附着力不好表面预处理和在线式等离子清洗机。随着等离子清洗技术的大量运用，不同行业对等离子清洗机的需求程度不一样，促使以前离线式的真空等离子清洗机不在能满足企业的生产需求，因此在线式真空等离子清洗机便应用而生。批量式等离子清洗机的主要结构包括:反应仓、壳体、控制系统、气路系统、电源以及真空系统等。
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材料需要活化（化学），改性材料需要用13.56MHz或20 MHz等离子体清洗，40kHz的自偏压约为1000伏，13.56MHz的自偏压约为250V，20 MHz的自偏压更低，这三种不同激发速率的体系是不同的。
在高压电极和接地电极之间施加高频和高频交流电，使两个电极之间的气体电离，形成等离子体区域。等离子体在气流的驱动下到达被加工物体表面，达到改变物体表面的目的。
其中一种常见结构是螺旋型结构，采用的是圆筒螺旋状线圈类型，如下图所示。 另一种常见结构是盘香型结构，采用的是平面盘绕状线圈类型如下图所示。 此外，有一种较为特别的盘香型结构是将盘绕状线圈加入等离于体内部的放电类型，其结构如下图所示。。
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