(3)电极和接地装置在真空室中施加高频电压，附着力和自交联结构使蒸气体击穿，通过辉光放电产生电离和等离子体。将真空室产生的等离子体全部覆盖，开始对加工工件进行清洗操作。通常清洗过程持续数十秒到分钟。清洗完毕后，将蒸汽体泵入真空室，切断高频电压，将蒸汽体的污物和蒸发排出。
通过该装置在密封容器内设置两个电极形成电场，电极上的附着力和电极电位通过真空泵实现真空。随着气体越来越稀薄，分子结构与分子结构或离子自由运动的距离也越来越远。它们在电场作用下与等离子体碰撞形成等离子体。它的活性极高，能量转换足以破坏几乎所有离子键的大部分，在暴露的表层发生化学反应。当处于真空状态时，通过等离子体对工件表面层进行化学或物理处理，可以去除分子结构水平（通常厚度为3-30纳米）。
等离子体处理原理对一组电极在射频电源上，附着力和自交联结构形成高频交变电场，在交变电场的发酵下，电极之间形成气体区域，形成等离子体，而等离子体的活性则是对表面进行物理轰击和化学反应的双重作用，使表面被清洗的物质变成颗粒和气态物质，经过真空放电，从而达到表面处理的目的。等离子体通常被称为物质的第四态。前三种状态是固体、液体和气体。它们相对常见，存在于我们周围。等离子体只存在于地球上的特定环境中，比如闪电和极光。
等离子体处理通常是导致表面分子结构发生变化或表面原子被替换的等离子体反应过程。即使在氧气或氮气等惰性气氛中，电极上的附着力和电极电位等离子体处理也可以在低温下产生高反应性基团。在这个过程中，等离子体也会产生高能紫外光。它与产生的快离子和电子一起，可以破坏聚合物键并产生表面化学物质。它提供必要的能量。这种化学过程只涉及材料表面的一个小原子层，聚合物的整体特性可能保持可变形。
附着力和自交联结构
与湿法清洗相比较，具有较大的优势：1.清洗对象的广泛性，不受溶剂和材料选取的限制。2.清洗方向的包容性。被清洗元件置于等离子体内，等离子体可以接触到任 意的元件表面，因而可以清洗具有复杂结构的元件。3.清洗产物的无害性。反应生成物为气体，经过简单处理后即可直接排放。4.操作流程简单、安全可靠。等离子体清洗后不需要烘干处理，工艺流程简 单，便于自动化实现。
DI DBD等离子清洗机的电极结构较为传统和通用，如图1所示，常用于材料和臭氧发生器的表面改性。其结构简单，金属电极可通过放电提高传热率。第二种DBD等离子清洗机的电极结构是放电发生在两个介电层之间。这避免了等离子体和金属电极之间的直接接触。同时，与单介质层放电结构相比，等离子体更均匀，放电丝更细。这种配置适用于电离腐蚀性气体和产生高纯度等离子体。图 3 显示了第三个 DBD 等离子清洗机的电极结构。
假设等离子体一开始是电中性的，离子比电子的质量大得多，电子的速度快得多，即使它们有相同的动能，离子的运动速度比电子慢得多。因此,开始时,电子的数量达到绝缘子表面的离子的数量多,除了一些参与重组,电子将盈余,绝缘子表面的显示了一个负电位对等离子体。
等离子体的直流电位以及离子轰击能量约为20～40V。与电容耦合等离子体相比较;电感耦合等离子体的离子通量和离子能 量可以得到更好的独立控制。为了更好控制离子轰击能量，一般会将另一个射频电源容性耦合在放衬底的晶圆上。线圈在感性放电的过程中会和容性驱动的衬底台产生容性耦合的成分，也就是在产生等离子体的过程中,外加电源会产生电压差。这将不利于等离子体密度和能量的独立控制。
附着力和自交联结构
血浆均匀性是临床应用中需要关注的问题。此外，附着力和自交联结构当等离子体温度高于正常体温6℃以上，即高于43℃时，膜分子的动能可能会超过超分子聚合的水合极限能，从而发生结构退化。因此，在热作用下细胞膜的动能损伤决定了细胞坏死的速率。总之，临床设备子医学所涉及的生物和化学基础是非常复杂的。除紫外线、带电粒子、跨膜电位、气体温度外，在实际的临床应用中还需要充分考虑和认真使用。。
