产生等离子体的等离子体清洗/蚀刻装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，金属附着力处理剂价格用真空泵实现一定程度的真空，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离和分子或离子的自由运动距离越来越长。在磁场作用下，碰撞形成等离子体，同时会产生辉光。等离子体在电磁场空间中运动，轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和蚀刻的效果。等离子清洗机具有以下九大优点：一是清洗对象经等离子清洗后干燥，无需进一步干燥处理即可送入下一道工序。
不同的等离子体产生的自偏压是不同的。超声波等离子的自偏压在0V左右，金属附着力处理剂价格高频等离子的自偏压在250V左右，微波等离子的自偏压很低，几十伏。三种等离子体的机理不同。超声波等离子体产生的反应是物理反应，高频等离子体产生的反应既是物理反应又是化学反应，微波等离子体产生的反应是化学反应。但由于40KHz是早期技术，射频匹配后的能耗太高，实际作用于待清洁物体的能量还不到原始能量的1/3。
通过在微观层面上的一系列物理化学作用，金属附着力促进剂的作用等离子的表面清洗作用能够获得精细的高品质表面。
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等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：（1）电场＋电子→高能电子（2）高能电子＋分子（或原子）→（受激原子、受激基团、游离基团）活性基团（3）活性基团＋分子（原子）→生成物+热（4）活性基团＋活性基团→生成物+热从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团。
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