清洗和刻蚀︰例如，表面改性纳米二氧化硅在进行清洗时，工作气体往往用氧气，它被加速了的电子轰击成氧离子、自由基后，氧化性极强。工件表面的污染物，如油脂、助焊剂、感光膜、脱模剂、冲床油等，很快就会被氧化成二氧化碳和水，而被真空泵抽走，从而达到清洁表面，改善浸润性和粘结性的目的。低温等离子处理仅涉及材料的表面，不会对材料主体的性质产生影响。
空气气流将电弧中所产生的活性粒子 (i+, e-, r*) 从 放电区带出。能够产生稳定的常压等离子借助于等离子喷枪。工作时将空气或其它工艺气体引入喷枪内, 同时通入高频高压电流来对气体施加能量, 最后从喷枪前端喷嘴中喷出的就是所需要的等离子体。 大气等离子处理技术应用领域极为广泛, 它可以在各种粘合处理 、 喷涂处理 、 印刷处理的工艺过程中 , 对塑料、金属或者玻璃材料进行表面处理 。
DBD放电作为一种简单易行的常压等离子体方法，表面改性方法有哪些方面等离子体清洗仪已在材料制备、表面改性和生物医学等领域得到广泛应用。Kim等采用了large采用气动DBD放电等离子体系统制备负载催化材料。Jeon和Lee成功制备了Au纳米催化材料。氢冷等离子体大气DBD放电可有效地将Pd^2+还原为Pd元素。如Xu等通过常压冷等离子体处理制备的Pd/TiO2具有很高的光催化活性。
例如用于电子产品、LCD/LED屏幕镀膜、PC胶框预处理、外壳和按键表面喷油丝印、PCB表面脱胶和清洗、应用前的镜片粘合剂处理、线缆前处理线喷码机、汽车制造灯罩、刹车片、门封预胶、PCB表面脱胶、镜片前处理、排线喷码机前处理、汽车制造灯罩、刹车片、车门密封条预胶处理、表面改性处理车身表面的涂层处理，表面改性方法有哪些方面这些表面的涂层处理，这些表面的表面改性处理。。
表面改性纳米二氧化硅
以化学反应为主的等离子体清洗速度快，选择性好，对有机污染物清洗效果较好。表面反应以物理作用为主的等离子体清洗最常用的是采用氩气，不会产生氧化副产物，刻蚀作用各向异性。一般情况下等离子体表面改性过程中，化学反应和物理作用是共同存在的，从而得到较好的选择性、均匀性和方向性。
金属生物材料是指可以植入生物体内或与生物组织结合的材料。因此，作为生物医用材料，除了具有一定的功能特性和力学性能外，还必须满足生物相容性的基本要求。否则，生物体会排斥材料，材料也会对生物体产生不良影响，如发炎、致癌等。一般来说，纯合成材料不可能同时满足这些要求。由于生物材料与生物体的接触主要在表面，因此可以对合成生物材料进行表面改性。
相对于低氢灰化工艺，高氢灰化工艺能够更加有效地去除硅沟槽表面的Si-C键，达到改善硅锗外延缺陷的目的。等离子清洗机设备氧化型灰化工艺也可以在增加氧化量的基础上，达到改善外延缺陷的目的。但是此类工艺会在沟槽表面形成较厚的氧化硅层。如前所述，去除灰化产生的氧化硅层的过程也会造成浅沟槽隔离氧化硅层的损伤，对器件性能造成影响，因此氧化型灰化工艺在锗硅工艺中并不适用。。
如果使用各向同性蚀刻（如高电压、低射频功率、高比CF4用于氧化硅蚀刻或高比例Cl2用于氮化钛蚀刻），可有效保证光刻分割过程中沟槽侧壁和底部无氮化钛残留，但也带来断面形状倾斜、CD损耗严重等副作用；除上述问题外，在等离子清洗机和等离子表面处理机的刻蚀后切割方法中，侧壁还存在氮化钛甚至氧化硅残留。
表面改性纳米二氧化硅
一些实验测试表明，表面改性纳米二氧化硅改变真空等离子清洗机的一些参数，不仅可以满足上述刻蚀要求，而且还形成了一种特殊形式的氮化硅层，即侧壁刻蚀斜率。。超低温10MM等离子加工装置的喷枪采用低温等离子冷弧放电技术，等离子束的温度很低。低温等离子加工机适用于广泛的应用，例如等离子清洗、表面活化和粘合剂强化。这些特性可用于半导体封装工厂、微电子封装和组装、医疗和生命科学设备制造以及温度敏感应用。
等离子清洗机等离子体聚合沉积的聚合物膜在结构上与普通聚合物膜不同，表面改性方法有哪些方面可以在许多方面赋予新的功能，提高材料的性能。
