首先是等离子体与物体表面的碰撞，油漆附着力检查视频教程这种碰撞的物理反应。不得不说，等离子体与物体表面之间会发生各种化学反应。各种等离子清洗的主要反应不同，不受气体刺激。成分、使用的气体、激发频率和清洁过程中的主要反应非常重要。目前，半导体封装主要使用氩气、氧气和氢气等气体。恒定比例的氩氢混合物也可以用作激发气体来清洁晶圆、引线框架和基板的表面，以去除要清洁的物体。
等离子体清洗机常见主机电源为13.56kHz频率发射主机电源，油漆附着力检查视频教程可产生高等离子体密度、软能量、低温，通常功率1～2千瓦，大功率5千瓦，小功率几百瓦，多功率40千瓦，小功率几百千瓦，多功率40KHz，中频40KHz，中频等离子清洗机主机电源，大功率5千瓦，低功率几百KHz，多功率40KHz，中频40KHz，能量软，温度低。通常功率1～2千瓦，大功率5千瓦，小功率几百千瓦，小功率几百千赫，多为40千赫。
(2)从激发频率来看，油漆附着力检查视频教程可将其分为激发频率为40kHz的等离子体、激发频率为13.56MHz的射频等离子体以及激发频率为2.45GHz的微波等离子体，实际半导体生产应用中多数采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。(3)从反应气体种类看，可将其分为反应性气体被激发产生的等离子体(如O2、H2等)和惰性气体被激发所产生的等离子体(如Ar、N2等)。前者是化学清洗手段，后者是物理清洗手段。
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电源将被激活，射频电源将被用来激发反应室中的气体。在预先设定的时间内，等离子体将在反应室中加工产品。当产品经过等离子体处理后，反应室内的射频电源将停止。作业煤气也将被切断。真空断路器的截止阀将被打开，以净化反应室。真空管将被关闭，使先前被阻塞的气体返回反应室并恢复到大气压力。操作员打开反应室的门。处理过的产品可以从真空室中取出，整个过程结束。
等离子体系统可以以各种形式集成，如模块化系统。下面你可以看到飞秒管等离子体系统最常用的选择。
常见的等离子清洗机通常有两种，一种是低压真空等离子表面处理设备，一种是常压大气等离子表面处理设备，分别为真空等离子清洗机和常压等离子表面处理设备。
原子团等自由基与物体表面的反应 由于这些自由基呈电重型，存在寿命较长，而 且在等离子体中的数量多于离子，因此自由基在等 离子体中发挥着重要作用。
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