等离子体存在具有一定能量分布的电子、离子和中性粒子，乙烯基树脂附着力在与材料表面的撞击时会将自己的能量传递给材料表面的分子和原子，产生一系列物理和化学过程。一些粒子还会注入的材料表面引起碰撞、散射、激发、重排、异构、缺陷、晶化及非晶化，从而改变材料的表面性能。等离子体对暴露于高能物质中的材料表面能够分解聚合物，产生自由基。等离子体中含有高水平的紫外线辐射，能够在塑料或聚四氟乙烯的表面产生额外自由基。
在体系压力4x102~6.7x104Pa、等离子体注入功率40~ 80W和气体流速50~500 ml/min条件下，乙烯基树脂附着力甲烷可转化为乙烷(C2H6)和乙烯(C2H4)和乙炔(C2H2)。 甲烷转化率介于4%~55%；乙烷、乙烯、乙炔选择性分别为54%~ 75%、13%~25%、0~25%。
与等离子体相比，乙烯基树脂附着力等离子体的内部成分是多样而活跃的，同时又具有化学和电学特性。当具有相应能量和化学性质的等离子体与PTFE聚四氟乙烯反应时，可以打破PTFE表面的C-F键，同时引入极性基团填充F原子的分离，形成粘附表面。
理化反应机制是活性颗粒轰击在洁净的表面，乙烯基树脂附着力使污染物脱离其表面，由真空泵吸出；化学反应的机理是各种活性粒子与污染物发生反应，带来有（机）物质，再由真空泵吸出有（机）物质。等离子体洁净主要是物理反应，没有化学反应，洁净表面没有氧化物，可以保持被洁净物体的化学纯度；缺点是对表面的损伤少，会带来很大的热效应，对被洁净物体表面的各种物质选择性差，腐蚀速度低。
如何增加乙烯基树脂附着力
等离子处理有以下优点：取得满意的剖面，钻孔小，选对外表和电路的损伤小，清洁、经济、安全。择比大，刻蚀均匀性好重复性高。处理进程中不会引进污染，洁净度高。等离子清洗机在去除光刻胶方面的详细运用：等离子清洗机的运用包含预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥离、晶圆凸点、消除静电、介电质刻蚀、有机污染去除、晶圆减压等。
另外，加工面是单一的，同时加工两个面时，加工变得更加复杂。在加工过程中，物体必须非常准确地放置在传送带上。可以设置大气压等离子清洗机喷嘴的运动轨迹，但要处理的物体必须固定在移动台上。我们将根据客户的要求决定。。
进一步的实验研究表明，情况比这个结论更复杂，除了驱动力参数，如电压、频率、脉冲宽度，以及气体流量或速度。在一定条件下，大气喷射等离子清洗机的喷射长度会受到影响。大气压冷等离子射流没有低压等离子所没有的空间限制，可以灵活使用，无需空腔或真空装置，可显着降低成本，逐步体现其实用性，发挥积极作用。..逐步应用于工业、医药、卫生、生物医药等领域。
5）后向散射、再发射和注入，当离子或中性粒子进入固体时，与固体中的原子碰撞，逐渐失去原有的能量，最终可能有两种结果：或者残留部分能量，从固体表面发射出去，这就是后向散射，或者与固体原子达到热平衡，逐渐扩散到表面，然后发射，这就是再发射，这些粒子，特别是在较高能量时，沿固体深度形成分布，这就是注入。
乙烯基树脂附着力
