国内单位在铝线键合前使用等离子清洗后,电泳层附着力键合良率提高了 10%,键合强度一致性也提高了。。1.等离子蚀刻在等离子蚀刻的过程中,被蚀刻的材料在处理气体的作用下变成气相(例如,如下图所示,使用氟气蚀刻硅时)。工艺气体和基体材料由真空泵抽出,表面不断被新工艺气体覆盖。蚀刻部分不希望被材料覆盖(例如,半导体工业使用铬作为涂层材料)。等离子法也用于蚀刻塑料表面,填充的混合物可以用氧气焚烧,同时可以进行分布分析。
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