大气压微波等离子体清洗源微波放电不需要电极，钢丝层与帘布层附着力比较是将微波能量转化为放电气体的内能，将其激发和电离而产生等离子体的一种气体放电形式。微波放电可以在较宽的气体压力范围内工作，一般放电频率为2．45GHz。微波放电可以产生较大体积的非平衡等离子体，而且所产生的等离子体比较稳定，密度比较高；同时微波放电为无电极放电，可以防止电极材料对清洗过程的影响。
例如，钢丝层与帘布层附着力比较氧等离子体的相对密度与电离功率密切相关;(d)接触时间:待清洗材料在等离子体中的接触时间对材料的表面清洗效率和等离子体的工作效率有重要的干扰。接触时间长，清洗效果比较好，但工作效率低。(e)传输速率:相对于大气等离子体清洗过程，在清洗大型物体时涉及到连续传输问题。因此，待清洗物体与电极的相对运动越慢，清洗效果越好。然而,太慢会影响工作效率,另一方面和另一方面导致材料表面损伤,从而延长清洗时间。
和物理反应相比较，钢丝层与帘布层附着力比较化学反应的缺点不易克服。并且两种反应机制对表面微观形貌造成的影响有显著不同，物理反应能够使表面在分子级范围内变得更加“粗糙”，从而改变表面的粘接特性。
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(2)工作气体的类型也影响等离子体的清洁类型例如:Ar2、N2等行成的等离子体常见应用物理清洗，产品表面经过轰击清洗；反应性气体O2、H2等行成的等离子体常见应用化学清洗，活性自由基与污染物(大多数是碳氢化合物)发生化学反应，行成一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，从产品表面去除。
等离子体清洗是指高度活化的等离子体在电场的作用下发生定向移动，与孔壁的钻污发生气固化学反应，同时生成的气体产物和部分未发生反应的粒子被抽气泵排出。
由于等离子体的方向性差，它可以深入到物体的孔隙和凹陷处，完成清洁任务，而不需要过多考虑被清洁物体的形状。而这些难清洗部件的清洗效果类似甚至优于氟利昂清洗;新型等离子表面处理器十大优点之一:使用等离子表面处理器，可以在清洗功率上取得很大进步。
在低温等离子体中，重粒子的温度只有室温，而电子温度可以达到成千上万度，因此远离热力学平衡状态，例如辉光放电属于低温等离子体。冷等离子主要用于等离子蚀刻、沉积和等离子表面装饰。电洗涤温度是许多用户关心的问题，电洗涤时，电洗涤火焰看起来也和一般的火焰差不多，而电洗涤设备如采用中频电源，功率大，能量猛，不加水冷温度也很高，若洗涤材料不耐温，则需注意温度。
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