较短的清洗时间可使有机污染物彻底清洗干净，铝表面附着力树脂通过真空泵将污染物抽走，清洗程度达到分子水平。其次，就使用范围而言，等离子体技术日趋成熟，而且它现在不仅在工业领域得到了很好的利用。它也在其他领域获得了好处。
在各种不同环境领域和行业当中，在铝表面附着力好的都能呈现出很好的使用品质，让清洗工作成本大大下降。。
③ Ar等离子清洗机的主动气体辅助在等离子清洗机的启动和清洗过程中，在铝表面附着力好的经常会混合使用处理过程中的气体，以达到更好的预期效果。鉴于 Ar 的化学结构相对较大，它通常与活性蒸气结合使用，用于表面清洁和活化。最常见的是 Ar 和氧气的混合物。氧气是一种高活性气体，能有效分解有机化学品的空气污染源和有机化学品的表面，但其细小颗粒比较小，化学键断裂。
等离子：在真空室内产生的等离子完全覆盖清洗后的工件后，铝表面附着力树脂开始清洗操作，清洗过程持续几十秒到几分钟。大多数物理清洁过程需要高能量和低压，因为它们依靠等离子体在电磁场中移动并撞击待处理的表面。原子和离子在与要清洁的表面碰撞之前达到高速。为了加速等离子体，需要高能量，从而可以增加等离子体中原子和离子的速度。为了增加碰撞前原子之间的平均距离，需要降低压力。
铝表面附着力树脂
除同步脉冲技术外，还有源功率脉冲、偏置功率脉冲、嵌入脉冲（embedded）和交错脉冲（delayed）技术，均采用EED微调或用于特殊工艺。例如，当源功率为脉冲时，一般是无偏的，适用于表面材料的精细加工（去除）。当偏压电源为脉冲时，由于源电源的连续工作，电子温度并没有降低，当需要降低时，往往通过提高反应室内的压力来实现，但它是各向异性的。它削弱了蚀刻能力，但高输出底部偏压解决了这个问题。
(3)手动高真空角阀 真空等离子清洗机所用的手动高真空角阀通常为定制型，主要用于手动控制真空气路通断、分断测压等。通常会在角阀上焊接一个KF16接头，以便连接真空计。 这种阀门在真空等离子清洗中已经很少被应用，主要应用于部分实验设备及真空管道检漏。
等离子清洗作为一种高精细的表面清洗技术，主要作用在等离子清洗、活化、蚀刻、涂覆、灰化和表面改性等等场合，在各领域都均有使用。
在IC芯片制造领域，等离子清洗机加工技术是一个不可替代的成熟工艺，无论是芯片源离子注入、晶圆镀膜，还是我们的低温等离子表面处理设备。成果：等离子清洗机去除晶圆表面的氧化物、有机物、掩膜去除等超细化处理和表面活化，提高晶圆表面的润湿性。
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