4、工艺冷水冷却的一般要求等离子清洗机的冷却水温度一般为20-50°,底漆附着力等级要求应根据实际情况进行调整。 5、工艺冷却水的实时监控 由于工艺冷却水是等离子清洗机的重要组成部分,因此通常应实时监控,以防止因零件损坏而导致产品处置。如果在使用过程中出现异常,请立即发出警报并停止。真空等离子清洗机是一种低温处理产品,但为了保证等离子清洗机的寿命和正常运行,等离子清洗机的一些重要部位需要用冷却水处理冷却。

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大气等离子清洗机建议选用带有流量控制器的专用气源来为其提供稳定的工作气体。此装置Z大的优点是携带方便、气源干燥清洁、压力和流量持续稳定。2 真空等离子清洗机的流量控制器选择工艺气体流量的稳定性,琉璃瓦刷什么底漆附着力好会影响工业型真空等离子清洗机的处理效果,大多数工艺都对气体流量控制要求非常严格,所以工业型真空等离子清洗机都是选用质量流量控制器来实现对工艺气体流量的控制。

2.在电子行业,底漆附着力等级要求要求高清洁度和严格的免充电放电。大气压/宽幅等离子体技术在电子工业中的应用是针对电子元器件或电路板的加工制造,等离子体技术的引入是对这些工艺的革新。等离子体技术不仅能满足高清洁度的要求,而且处理过程完全是无电位过程,即在等离子体处理过程中,电路板上不会有电位差而引起放电。在引线键合过程中,利用等离子体技术可以有效地对硅片、LCD显示器或集成电路(IC)等敏感易损部件进行预处理。

不活泼等离子体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等,琉璃瓦刷什么底漆附着力好气态等离子体清洗过程中不同类型气体的反应机理不同;气体的性质不同,其用于清洁的污染物也须有不同的选择。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

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图1-5 (a)为单间隙单介质阻挡放电电抗器的结构。其特点是介电体与高压电极连接,接地电极与介电体之间有放电面积,结构简单,常用于制造臭氧等。图1-5 (b)为双间隙单介电体阻挡放电电抗器结构。其特点是等离子体清洗仪的上下电极分别与介质形成两个不同的反应区,一般用于产生两种成分不同的等离子体。图1-5 (c)为单间隙双介质阻挡放电电抗器结构。

为了探讨等离子体作用下纯乙烷转化反应的可能机理,在相同等离子体条件下考察了纯乙烯的转化反应,其反应的主要产物是:C2H2和CH4及少量积碳。根据上述实验事实,结合等离子体作用下甲烷转化反应机理及等离子体特性,推测C2H6在等离子体条件下转化反应的历程如下。(1)等离子体场产生高能电子。自由电子在电场E作用下加速,生成高能电子e*: e + E → e*(3-26)(2)引发自由基反应。

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4.当腔体产生辉光时,根据实验要求,打开氧氩阀开关(打开状态为:黄灯亮),手动调节流量计旋钮添加辅助气体。5.达到处理时间后,恢复平衡阀按钮,3秒左右恢复正常压力。当没有进气声音时,腔门会自动打开。6.打开腔门,取出处理对象,一个处理过程结束。在手动状态下,可以设置氧气阀、氩气阀、真空泵、射频电源、平衡阀开关选择、数据工作。

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