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广东等离子清洗设备原理
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等离子设备应力邻近技术在半导体工艺刻蚀中的应用：应力接近技术（SPT）是近年来在先进逻辑芯片技术中广泛使用的一种技术。其技术原理是在栅源漏区金属化（calyde）后，利用等离子器具的刻蚀方法去除部分或全部侧壁，然后沉积应力层或双应力层。层区域，应力接近技术可以将 NMOS 的性能提高 3%。对于 PNG 来说，应力邻近技术的引入使性能提升更加明显。借助 SiGe 技术，金属附近的应力可将性能提高 40%。
等离子表面处理机清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗工作原理： 低温等离子净化器在外加电场的作用下，废气中的污染物质可与高能电子、离子、自由基和激发态分子等具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使恶臭气体有害物质转变成无味无害的气体。
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其工作原理是等离子清洗机以气体为清洗介质，广东等离子清洗设备原理有效避免了液体清洗介质对被清洗物体造成的二次污染。等离子清洗机与真空泵相连，在运行过程中，清洗室中的等离子轻轻地清洗被清洗物体的表面，让（有机）污染物在短时间内被彻底清洗干净。同时，真空泵排出污染物，清洁程度达到分子水平。除了超强清洁能力外，等离子清洁剂还可以在某些条件下改变某些材料的表面特性。等离子体作用于材料表面，重组表面分子的化学键，形成新的表面特性。
