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等离子表面处理的优点:(一)适用范围广等离子表面处理更安全,材料范围更广,可以处理平面、曲线、棒材等复杂形状的材料。(二)高强度救治等离子体表面处理清洗机形成的等离子体是高能量的材料聚集态,约1~30eV,处理强度高,处理效果好。(3)纳米级加工技术等离子体表面处理是一种纳米加工技术,不会改变基体的固有性能,可以保持皮革本身的特性。。对清洗表面施加高能等离子体流,达到等离子体清洗的目的。
半导体封装行业广泛应用的物理和化学清洗方法可分为湿式清洗和干洗两种,尤其是,干洗的发展趋势尤为迅速,其中等离子清洗机具有显著优势,它有利于促进晶粒与焊盘导电胶的粘接能力、焊膏的润湿性、引线键合的抗拉强度、塑封材料的稳定性和金属外壳包裹性等,在半导体元器件、MEMS、光电子器件等封装行业应用推广具有广阔的市场发展前景。
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其基本原理是在真空低气压下,广东在线等离子清洗机将射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈,通过辉光放电与一定比例的混合蚀刻气体耦合,产生高密度等离子体。在下电极RF射频的作用下,这些等离子体轰击衬底表面,衬底图形区半导体材料的化学键断裂。挥发性物质随蚀刻气体产生,以气体形式离开基板并从真空管路抽走。。中频等离子清洗机采用中频电源,中频电源,以16位微处理器为核心的四百赫兹中频电源,动力工程电子产品为动力工程输出单元。
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