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还有一种等离子体清洗是表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以互相促进，离子轰击使被清洗表面产生损伤削弱其化学键或者形成原子态，容易吸收反应剂，离子碰撞使被清洗物加热，使之更容易产生反应；其效果是既有较好的选择性、清洗率、均匀性，又有较好的方向性。典型的等离子体物理清洗工艺是氩气等离子体清洗。
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当处理时间超过7分钟时，广东专业定制等离子清洗机腔体价格合理木材表面的高能电子和离子相对不间断，蓄能大，存在局部过度腐蚀。由于高能等离子体放电导致木材温度升高，羧基、羰基和其他显色基团会导致局部颜色变暗。带来木材的表面，碳化。因此，木材的低温等离子放电处理时间为3分钟为宜。。等离子预处理设备 玻璃盖板镀膜前等离子预处理镀膜：玻璃盖板镀膜适用于5G行业，手机盖板镀膜，玻璃盖板镀膜，显示器镀膜，保护层，光学材料镀膜等。
Mishra等[38] 亦发现,用NH3 等离子体处理聚酰胺纤维,然后用酸性染料染色,能提高色牢度和上色率。3.4在微电子工业中的应用 在高分子领域, 等离子体在微电子工业中主要可用作集成电路制备中硅片表面高分子覆层的刻蚀、去除；改善聚合物电学元件表面电学性能；增加高分子绝缘膜与线路板的粘接等。Thuy[39] 应用O2、Ar、CHF3 混合气体等离子体选择性蚀刻集成电路表面残留的聚酰亚胺覆层。
