等离子体发生器分类等离子体发生器（plasma generator）用人工方法获得等离子体的装置。等离子体由自然产生的称为自然等离子体（如北极光和闪电），海南射频等离子清洗机代理由人工产生的称为实验室等离子体。实验室等离子体是在有限容积的等离子体发生器中产生的。 等离子体发生器的放电原理：利用外加电场或高频感应电场使气体导电，称为气体放电。气体放电是产生等离子体的重要手段之一。
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如此，低温等离子体需要破坏原有物体表面的化学键，继而形成新的化合键，给材料表面全新的特性。低温等离子体清洗是一种低温等离子表面改性技术。等离子体清洗是指非聚合性气体(如He、Ar等不活性气体以及O2、CO2、NH3等反应性气体的物理的或化学作用过程。
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