数字控制技术使用方便,镀层附着力检测原理自动化程度高,整个过程非常高效。精确控制、精确时间控制和正确的真空等离子设备不会在表面上产生损坏层。表面质量有保证。由于是在真空中进行,不污染环境,清洗面无二次污染。。等离子表面处理技术原理及应用等离子是第四物质的状态,是由被剥夺了部分电子的原子和原子电离后产生的正负电子所组成的电离气体,是一种状态物质。这种电离气体由原子、分子、原子团、离子和电子组成。

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Plasma等离子清洗原理通常物质以固态、液态、气态3种状态存在,镀层附着力冷热交变试验而Plasma是物质存在于3种物质状态之外的另一种状态,及在一些特殊的情况下物质原子内的电子脱离原子核的吸引,使物质呈为正负带电粒子状态。它的清洗原理就是在一组电极施以射频电压,区域内的气体被电极之间形成的高频交变电场激荡下,形成等离子体。

3.3等离子清洗设备 等离子清洗设备的原理是在真空状态下,镀层附着力冷热交变试验压力越来越小,分子间间距越来越大,分子间力越来越小,利用射频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子,然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质**出去,从而达到表面清洁活化的目的。

目前广泛应用的工艺主要是在线等离子清洗设备工艺,镀层附着力检测原理等离子处理工艺简单、环保、清洗效果明显,对于盲孔结构非常有效。等离子体清洗是指高度活化的等离子体在电场作用下定向运动,与井壁污垢发生气固化学反应,部分未反应的气体产物和颗粒通过抽油泵排出。

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等离子清洗机(Plasma Cleaner)又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。

等离子体作用于数据表面,使表面分子的化学键发生攻击和重组,产生新的表面特性。等离子体表面活化清洗此外,等离子体表面处理机采用气体作为清洗介质,合理防止了液体清洗介质对被清洗物造成的二次污染。等离子体表面处理器外接真空泵。工作时,清洗腔内的等离子体轻轻冲刷被清洗物体表面,有机污染物可在短时间内被彻底清洗干净。同时通过真空泵将污染物抽走,清洁程度达到分子级。是等离子清洗和等离子活化的专家,也是自动化制造商。。

批量配气系统中集中储气供气的优点一是供气可靠稳定,二是减少了杂质颗粒的污染源,二是减少了日常供气中的人为干扰。常见的气体通常分为惰性气体、还原性气体和氧化性气体,如表 6.1 所示。

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