为便于比较,江苏等离子真空清洗机选择现将三种活化条件下的二氧化碳氧化甲烷制C2烃反应的结果列于表4-3,由表4-3可见:在催化活化法中,当反应温度高达1 K时,甲烷可以转化为C2烃,虽然C2烃选择性较高,但甲烷转化率很低,因此C2烃收率仅为2%。
电路图案一旦在光刻胶上成型,江苏等离子处理机说明书就可以通过刻蚀工艺将图案复制到多晶硅等质地的基膜上,从而形成晶体管门电路,同时利用铝或铜实现元器件之间的互连,或者利用二氧化硅阻断互连路径。蚀刻的作用是把印纹以很精密的方式转移到基底,因此刻蚀过程必须有选择地去除不同的膜层,对基底的腐蚀有很高的选择性。否则,不同导电金属层之间会出现短路。此外,刻蚀工艺还应具有各向异性,以保证印刷图案的精确复制到基底。
3、选择真空度:适当提高真空度,江苏等离子真空清洗机选择增加了电子运动的平均自由程,从而增加了从电场中获得的能量,有利于电离。此外,如果必须保持氧气的流动,真空度越高,氧气的相对比例就越高,产生的活性粒子浓度也越高。但是,如果真空度太高,活性粒子的浓度会降低。。等离子清洗机中使用的非反应性气体的影响机制 等离子清洗机中使用的工艺气体,如 Ar、He、H2 和其他反应性气体。
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而硬盘的稳定性依赖于硬盘支架与盘面的寿命和稳定性,其中硬盘支架上的HC和阴离子数目超标将直接导致硬盘在运行的过程中容易造成类似干电池的腐蚀,继而丢失数据甚致硬盘报废,而用传统的方法很难有效降(低)其数量,因此,HC和相关阴离子很难降(低)到标准要求成了硬盘领域发展的一个瓶颈,属于业界公认的难题。目前为了(降)低HC和相关阴离子数目多采用化学清洗方式,良品率低,效(果)不理想。
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