而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，江苏真空等离子体处理机报价分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。 2.真空腔体真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体。2）石英腔体。 3.真空泵真空泵分为两种： 1）干泵。 2）油泵。
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等离子清洗机清洗分类 1、反应类型分类等离子与固体表面的反应可分为物理反应（离子冲击）和化学反应。物理反应机理是活性颗粒与被清洗表面碰撞，江苏真空等离子表面处理机原理污染物从表面分离出来，最后被真空泵吸走。化学反应机理是各种活性粒子与污染物反应产生挥发物。物质和挥发性物质被真空泵吸走。
例如，江苏真空等离子表面处理机原理慵懒气体Ar2、N2 等被激起发生的等离子体首要用于物理清洗，凭借炮击效果使资料外表清洁；而反响性气体O2、H2 等被激起发生的等离子体则首要用于化学清洗，凭借活泼自由基与污染物（多为碳氢化合物）发生化学反响，发生一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，从资料外表移除。 （3）等离子体清洗类型对清洗效果具有必定的影响。
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不聚合气体包括反性气体和非反性气体，等离子发生器电源开关选取不同的气体分类法对大分子表面效应的作用机制也不同。 等离子体表面处理仪电源开关等离子体诱导聚合是指在辉光放电条件下，活化颗粒(分子)诱导的聚合，表观上发生自由基，然后与单体结合的聚合方式，如分子链发生交联或侧链上接枝，官能团置换和嵌段聚合等。采用等离子体诱导聚合作用形成高聚物，单体必须包含聚合能量的结构，如双键、三键或环键等。
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