等离子刻蚀是利用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧配合的方式，喷漆附着力是几级的在晶圆制造过程中对氮化硅进行微米级的刻蚀，在氢气和氧配合的方式下，去除微米级的光刻胶。
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等离子体清洗形成的微观粗化表面是原子或分子级的。从宏观上看, 基片表面去除水汽、污物后, 更加平整和均匀。沉积上ITO膜后, 可获得更加均匀一致的可见光透射比和电导率。
再将气体引入反应室，喷漆附着力是几级的标准使室中的等离子体成为反应等离子体，与样品表面反应产生挥发性副产物，由真空泵抽出。真空等离子清洗机没那么复杂，按工频分，40kHz和13.56MHz为例：正常情况下，材料放入腔体工作，频率为40kHz，一般温度在65以下。而且，该机配备了强劲的散热风扇。如果处理时间不长，材料表面温度会与室温一致。13.56MHz的频率更低，通常低于30。
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等离子表面处理设备可以稳定这些材料并将它们与高质量结合起来。如今，随着消费者对现代汽车的高性能、卓越的舒适性和驾驶安全性的期望越来越高，汽车制造商也提出了更深、更高的技术要求。等离子表面处理技术是高质量、无VOXS、无化学处理的基本前提。它不仅应用在上述的一些主要领域，而且在汽车制造领域也无孔不入，因此被行业内的制造商所采用，是每一个制造过程中不可缺少的元素。。
3.将待处理样品置于样品板之上。4.将样品板水平推入到位，关闭反应腔门。5.开启总电源开关，等待触摸屏启动完毕。6.参数设定及程序选择。7.手动时按实验人员的意向进行操作。8.自动时，按下“启动”按钮，设备自动开始处理过程，当处理过程结束后，自动进入到提醒页面，按“确认”后回到主页面，等待再次进行实验。同时蜂鸣器鸣响，提醒操作人员实验已经完成。10秒中后蜂鸣器自动关闭。9.打开反应腔门，将样品取出。
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