当电流增大直至阴极表面全部被辉光覆盖时，端州在线式等离子清洗设备厂商阴极电位降随电流强度和电流密度的增加而增大，然后进入反常辉光放电。根据等离子体清洗机放电空间光区分布情况，可分为两部分：第一部分是放电的阴极部分，包括阿斯顿暗区、阴极辉光区、阴极暗区、负辉光区和法拉第暗区；第二部分称为阳极部分，包括正柱区、阳极暗区和阳极辉光区。阴极部分不具备等离子体的特性，从正柱区到阳极其他区域都处于等离子体状态。。
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